Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381823 à vendre en France
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ID: 9381823
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
QUARTZ Wares
Manifold accessory
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four de diffusion et des accessoires conçus pour une fabrication efficace de dispositifs semi-conducteurs. Ce matériel est utilisé pour déposer des dopants dans les couches épitaxiales lors du traitement IC. Il a une structure verticale permettant une uniformité de température maximale, ainsi qu'un collecteur d'échappement intégré pour réduire la contamination. L'unité comprend un microprocesseur programmable et un système d'intervertissage actif pour assurer un fonctionnement sûr. TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est équipé de caractéristiques standard de l'industrie qui rendent l'unité idéale pour une production efficace de couches épitaxiales dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il dispose d'un contrôle programmable température/temps avec de nouveaux algorithmes optimisés pour une précision et une précision maximales. La gamme de température de la machine a été élargie avec l'ajout d'un contrôleur multi-zones. L'outil fournit également une pression de processus réglable pour optimiser la croissance de la couche épitaxiale. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI four de diffusion dispose d'un actif auto-préfixe de livraison de gaz qui ajoute automatiquement la dose de marge pour maintenir les concentrations de gaz de source constante. Son modèle de purge automatisé élimine les gaz indésirables avant le prochain essai pour assurer des résultats très reproductibles. En outre, l'équipement de surveillance et d'analyse des gaz en temps réel peut surveiller plusieurs gaz pour obtenir une rétroaction et un contrôle précis. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI offre une surveillance et un contrôle précis des processus en fournissant une interface utilisateur intuitive, une rétroaction des données de processus et des capacités de réglage. Le système complet d'enregistrement des données permet une traçabilité complète et un accès immédiat aux données. Les capacités d'enregistrement et d'intégration par lots offrent une gestion efficace des données et des fonctions de rappel. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est conçu pour être compatible avec une variété de cartes d'expansion et de mises à niveau, permettant une personnalisation personnelle et une expansion future. Cette unité répond également à toutes les normes de sécurité de l'industrie et dispose d'une machine de contrôle de processus réglable avec des capteurs de détection de fuites intégrés. Avec sa conception efficace, ses performances de fonctionnement élevées et ses caractéristiques de sécurité, TEL INDY Plus-B-MVCKNNRRTXI est un choix fiable pour la fabrication de semi-conducteurs et la production de couches épitaxiales.
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