Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827 à vendre en France
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ID: 9381827
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Furnace, 12"
Process: HfSiOx
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
(2) Boat systems KAWASAKI
Hard Disk Drive (HDD)
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four de diffusion à rendement moyen placé verticalement avec des accessoires. Ce four peut être utilisé pour créer des matériaux semi-conducteurs de haute pureté. Il est utilisé dans la production de semi-conducteurs, notamment pour les semi-conducteurs composés stratifiés. Il dispose d'une cassette de wafer de grande capacité, d'un fonctionnement à haute température et d'un contrôle précis de la température et de la pression. L'équipement comprend une chambre principale, un contrôleur multi-zones, un système d'échappement et une gamme d'accessoires. La chambre principale comprend une zone de chauffage, une zone de refroidissement et un port d'observation. La zone de chauffage peut accueillir jusqu'à 150 plaquettes à la fois, avec une unité de chargement automatique pour un chargement et un déchargement faciles. La zone de chauffage permet également un recuit thermique rapide de l'azote, qui est utilisé pour créer des structures cristallines dans des matériaux semi-conducteurs. La zone de refroidissement comporte un réseau de canaux de refroidissement pour un refroidissement uniforme des plaquettes. Le contrôleur multi-zones peut ajuster avec précision la température, la pression et le débit dans chaque zone. Il permet également à l'utilisateur de contrôler l'atmosphère dans le four, y compris les gaz de procédé, le vide de chambre et le gaz de trempe. En outre, le contrôleur dispose de recettes programmables pour le contrôle des processus personnalisés. La machine d'échappement est installée à l'arrière de la chambre principale et fournit des cycles de pompage automatique pour l'évacuation efficace et le remplacement de l'air. Cela permet un contrôle précis de la pression atmosphérique dans la cavité et contribue à réduire le risque d'explosions. De plus, l'outil d'échappement est équipé d'un filtre à longue durée de vie et d'un épurateur pour éliminer les contaminants des gaz de procédé. Les accessoires TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI comprennent une gamme de quartzware, de thermocouples, d'équipements multi-soupapes et de panneaux de gaz. Le quartzware comprend un bateau à quartz, des cylindres à quartz et des capsules à quartz. Les thermocouples sont utilisés pour la mesure de la température et peuvent être calibrés pour assurer une grande précision. L'équipement multi-vannes est constitué de plusieurs vannes de contrôle de l'atmosphère à l'intérieur de la chambre. Et les panneaux de gaz disposent d'une gamme de vannes manuelles et automatisées pour une livraison et un contrôle précis du gaz. Dans l'ensemble, le four de diffusion TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un atout puissant et précis pour créer efficacement et avec précision des matériaux semi-conducteurs de haute pureté. C'est un excellent choix pour les petites et moyennes installations de production de semi-conducteurs.
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