Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381828 à vendre en France
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ID: 9381828
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Display: GFC
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
PN2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Manifold
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four à diffusion conçu pour traiter efficacement les substrats semi-conducteurs. Ce four permet aux utilisateurs de programmer des recettes de diffusion personnalisées pour des procédés spécifiques. Il dispose d'une alimentation MVCKNNRRTXI bon marché qui peut fournir jusqu'à 25 ampères de puissance. L'équipement offre également une plage de température ajustable de 325 ° C à 1050 ° C Le système est équipé d'un capteur thermique sensible pour surveiller et contrôler tous les processus liés à la température. La chambre est conçue pour dissiper efficacement la chaleur vers l'extérieur pour un fonctionnement efficace. TEL INDY Plus-B-MVCKNNRRTXI est également équipé d'un logiciel avancé de contrôle des fours et de fonctions avancées de contrôle des processus. Cela inclut la programmation dynamique de la température de la chambre, la sélection et le stockage de la recette, le préemballage automatique, le contrôle de la température en boucle fermée et la possibilité de contrôler les canaux séparés et reliés. L'appareil dispose également d'autodiagnostics à distance ainsi que d'alarmes programmables. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est conçu pour les procédés à haute température de gaz et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il a été conçu pour réduire la perte de diffusion réactionnelle et augmenter l'uniformité de température du substrat. La chambre de procédé comprend une fonction de chauffage multicouche de haute précision qui permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la température du procédé. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI dispose également de portes de serrure automatisées, permettant le chargement et le déchargement rapides de la chambre. Un mécanisme d'étanchéité sous vide empêche tout contaminant extérieur d'entrer dans la chambre pendant le processus de diffusion. La chambre est également équipée de gousses de plaquettes de quartz qui peuvent être programmées pour donner un cycle de température précis et une synchronisation précise des flux gazeux pour créer des épaisseurs et des densités de film uniformes sur le substrat. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI comprend également un certain nombre d'accessoires pour le fonctionnement avancé et la protection. Il comprend des cassettes chargées qui permettent un traitement monolithique ainsi qu'une machine collectrice de gaz qui peut s'intégrer aux gaz de procédé, assurant un mélange uniforme et régulier des réactifs dans la chambre. De plus, l'outil est équipé d'une vanne mécanique d'arrêt de sécurité et d'un mécanisme de purge sûr des doigts pour protéger contre les rejets accidentels de gaz de procédé pendant les opérations. TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI four de diffusion est un actif facile à utiliser, fiable et rentable capable de produire des résultats uniformes et cohérents pour une variété de procédés. La combinaison de caractéristiques et d'accessoires, ainsi que son modèle de contrôle avancé, en font un choix idéal pour tous les processus de diffusion et de dépôt.
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