Occasion TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 / Alpha 8S/8SE #293658183 à vendre en France
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TEL IW-6/Alpha 8S/8SE est un four de diffusion et ses composants périphériques. Il est principalement utilisé dans l'industrie électronique pour des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la photovoltaïque et l'optoélectronique. Il est conçu pour déposer, recuit, oxyder ou graver des substrats dans un environnement contrôlé en utilisant des sources de plasma à courant continu (DC) ou à radiofréquence (RF). Le IW-6/Alpha 8S/8SE est composé de la chambre principale, du contrôleur, de l'équipement de support, de la source d'énergie et d'un équipement de contrôle de la pression de la chambre. La chambre principale est en alliages d'acier inoxydable et est conçue pour résister aux hautes pressions de température et de débit de gaz. Il dispose d'un contrôleur tactile facile à utiliser qui permet un fonctionnement et un réglage faciles des paramètres tels que la pression, la température et les flux de gaz pour différentes applications. La plage de température va de la température ambiante à 1 200 ° C avec une surface de traitement de 177mm et une taille maximale du substrat de 350 x 250mm. Une autre caractéristique de ce four est l'incorporation du système de climatisation et de douche à air. Ceci comprend un ensemble de vannes qui sélectionnent et contrôlent l'atmosphère dans la chambre principale lors de différentes étapes de traitement. Il dispose également d'une source Ar ultra-haute pureté qui est utilisée pour purger la chambre des gaz inertes et maintenir un environnement de processus propre. De plus, le IW-6/Alpha 8S/8SE est équipé d'une source de plasma RF pour les applications de gravure et d'ensemencement. L'unité de contrôle de pression de la chambre est composée d'un moniteur de jauge automatisé et d'un régulateur de débit massique, qui sont utilisés pour mesurer et contrôler avec précision la plage de pression dans la chambre principale. De plus, une machine de repérage des yeux est installée à l'intérieur de la chambre principale, ce qui garantit que les substrats sont correctement positionnés avant le traitement. Le IW-6/Alpha 8S/8SE est un outil fiable et efficace pour diverses applications dans l'industrie électronique. Il dispose d'une gamme de fonctions de sécurité et de contrôle de processus, qui garantissent qu'il fonctionne à ses performances optimales. En outre, il est approuvé CE et certifié TUV, donnant aux utilisateurs tranquille d'esprit que leurs applications fonctionneront sans aucun problème. Cet outil est également très polyvalent, capable de réaliser une variété de procédés tels que le dépôt, le recuit, l'oxydation et la gravure. Il est facile à installer et à utiliser, permettant des délais d'exécution rapides pour les utilisateurs sans avoir besoin d'attendre des installations d'ingénierie complexes. En conséquence, TOKYO ELECTRON IW-6/Alpha 8S/8SE est une excellente option pour les utilisateurs à la recherche d'un four de diffusion haute performance et de composants périphériques. Cet outil offre une gamme de fonctionnalités et de contrôles de sécurité, ce qui en fait un outil fiable et efficace pour diverses applications de l'industrie électronique.
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