Occasion TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #293764341 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6 est un four de diffusion et ses accessoires, développé et fabriqué par TEL Ltd (TOKYO ELECTRON) basé au Japon. Il est utilisé pour des procédés de diffusion tels que l'oxydation thermique et l'épitaxie ionique réactive (RIE) dans les industries du semi-conducteur, du MEMS et du stockage de données. Le four est conçu avec un seul élément chauffant, peut recevoir jusqu'à 6 "de plaquettes, et peut atteindre une température maximale de 1100 ° C Il offre une large gamme d'options telles qu'un kit basse température (-50 ° C à 200 ° C) pour l'oxydation thermique et les procédés RIE, un kit haute température (300 ° C à 1100 ° C) pour l'oxydation et la diffusion dopante, et une tête HTL + et un générateur de plasma haute fréquence. Le kit basse température offre un contrôle de température précis et uniforme, des temps de cycle courts, un suscepteur de 0,6 « × 6 » qui peut contenir jusqu'à 8 plaquettes, un générateur RF haute fréquence avec une puissance maximale de 150 watts, et un réchauffeur céramique spécial. Le kit haute température fournit également un contrôle précis et uniforme de la température, et il est équipé de chauffages en céramique, d'un suscepteur haute température et d'un contrôleur amélioré. La tête HTL + est utilisée pour générer un plasma non thermique entre 200 ° C et 1000 ° C et est utilisée dans le processus de gravure. Le système intégré de surveillance de l'environnement permet un contrôle précis de la température et de l'atmosphère dans la chambre du four. Il peut être configuré pour effectuer le contrôle automatique de la température et de l'atmosphère, ainsi que le contrôle du processus. TEL IW-6 est un four de diffusion fiable, facile à utiliser et économique. Il offre un contrôle de température uniforme et précis, une large plage de fonctionnement et un temps de cycle faible. Il est idéal pour une utilisation dans les procédés RIE, d'oxydation thermique et de diffusion dans les industries du semi-conducteur, du MEMS et du stockage de données. Avec ses performances fiables et son rendement de haute qualité, ce four de diffusion est l'une des meilleures solutions pour effectuer le traitement de substrat en vrac.