Occasion TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D est un four à diffusion avancée et un accessoire spécialement conçu pour fournir un dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma de haute précision (PECVD). TEL IW-6D est composé d'une chambre à vide spécialisée en acier inoxydable et d'une puissante source de plasma avec des systèmes de distribution de cathode et de gaz modulables. TOKYO ELECTRON IW-6D possède une chambre à vide monocristalline en quartz de 2,6 pouces de diamètre par 12,5 pouces de long. La chambre à tubes est composée de deux logements en titane évasés demi-cylindriques et de deux flasques, chacun avec quatre broches à chevilles scellées par des joints toriques. Le tube à quartz est électriquement conducteur et est revêtu d'aluminium pur pour éviter l'arc le long des parois du tube. De plus, le tube est entouré d'une double couche de blocs d'aluminium et contient des chauffages embarqués pour une optimisation uniforme du cycle thermique. IW-6D abrite une source d'alimentation RF standard avec un mode réglable manuellement, permettant à l'utilisateur d'adapter les paramètres précisément pour le traitement du plasma désiré. Le dispositif fournit un total de 30 kilowatts de puissance pour la formation de plasma et trois ensembles de 18,6 kW pour le contrôle de la température PID pendant le traitement PECVD. D'autres caractéristiques de la source d'énergie comprennent une carte d'alimentation TEL-GENLOW III, une structure de barre de support, une électrode de torche fermée et un équipement d'alarme à hydrogène actif. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D est composé d'un collecteur de gaz à 4 voies et de cinq régulateurs de débit de gaz, permettant à l'utilisateur de placer une large gamme de gaz dans le traitement plasma. Le collecteur a une capacité totale de 300 litres/min, et peut précisément contrôler le débit entre 0 et 300 sccm. Cette unité permet la livraison de quatre gaz de procédés céramiques destinés à être utilisés dans les procédés de dépôt amélioré par plasma. En outre, TEL IW-6D offre la possibilité d'une intégration avec une gamme d'accessoires avancés pour les applications de processus prises en charge. Les options haut de gamme comprennent un refroidisseur à gaz spécial, une machine de mélange automatique de gaz, un outil de refroidissement cryogénique, un actif de réactif moléculaire in situ et un modèle d'auto-purge. Les utilisateurs ont également la possibilité de configurer TOKYO ELECTRON IW-6D avec une console de télécommande de bureau, ce qui permet de le contrôler à distance. Ce four et accessoire de diffusion de précision de pointe de grande puissance se révèle fiable, robuste et convivial, ce qui le rend idéal pour les laboratoires de recherche appliquée. IW-6D assure le contrôle direct de tous les paramètres essentiels de traitement du plasma dans une seule unité, lui permettant de couvrir un large éventail d'applications, y compris CVD, PECVD, gravure, dépôt et plus encore. Avec l'option supplémentaire de personnaliser TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D avec une gamme d'accessoires avancés, il n'est pas étonnant que ce produit est très recherché.