Occasion TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 293798920
Style Vintage: 1999
Diffusion furnace
Process: Oxide
Gases: H2, O2, HCL
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D est un four de diffusion et les accessoires associés conçus pour la production intégrée de dispositifs semi-conducteurs avancés. L'équipement de base se compose d'un four de diffusion et d'une armoire de commande, qui offrent la flexibilité pour un large éventail de besoins de production avancés. Le four de diffusion est équipé d'un robot de transfert de pièces, permettant le transfert et le traitement simultanés de plusieurs plaquettes. Il supporte une variété de recettes de processus en une ou plusieurs étapes, permettant la production d'une large gamme de dispositifs microélectroniques sur plusieurs étapes. La chambre de la pièce comprend une zone de paroi chaude et une zone de paroi froide, indépendante de la température de la pièce, et est conçue pour assurer une répartition de température propre et uniforme dans toute la chambre pour une performance optimale du procédé. La robotique intelligente du système permet un transfert rapide des plaquettes et un contrôle automatisé complet des séquences de processus. TEL IW-6D est équipé de la dernière unité de commande assistée par ordinateur pour l'optimisation et l'uniformité des processus. Il comprend une mémoire pour les programmes prédéfinis, ainsi qu'une grande variété de capteurs, d'alarmes, d'interrupteurs d'arrêt et de mécanismes de sécurité pour un niveau élevé de sécurité de fonctionnement. De plus, le four est équipé d'un mélangeur à flux de gaz, d'une machine à vide et d'un outil de refroidissement de l'air pour assurer une distribution efficace des gaz dans toute la chambre de procédé. TOKYO ELECTRON IW-6D a une température maximale de 2,000C, et est fabriqué en utilisant les dernières technologies de construction métallique. Il est étanche au vide et construit pour résister aux températures élevées utilisées dans les processus de diffusion. L'actif est également équipé d'un modèle de refroidissement horizontal à obturateur unique très fiable qui est contrôlé avec précision et intègre un mécanisme de chasse d'azote sûr pour arrêter rapidement l'équipement en cas d'urgence. Le four de diffusion est capable de traiter différentes recettes de procédés, ce qui le rend adapté à une large gamme de procédés de diffusion. L'interface graphique facile à utiliser permet une grande flexibilité dans l'établissement des paramètres du processus. Le système de contrôle supporte également les capacités d'exploitation à distance et d'enregistrement des données, ce qui permet un meilleur contrôle du processus et réduit le besoin d'intervention manuelle. IW-6D est un four de diffusion avancé et un accessoire qui fournit des performances supérieures et précises. C'est un choix idéal pour la production intégrée de dispositifs semi-conducteurs avancés.
Il n'y a pas encore de critiques