Occasion TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D est un four de diffusion et des accessoires spécialement conçus pour les processus de diffusion haute performance. La chaîne de chauffage verticale 200mm x 300mm avec 3 zones - réglables verticalement depuis le haut - permet un contrôle de température uniforme sur jusqu'à 3 plaquettes simultanément. Le faible gradient thermique à travers le four permet la formation de couches de haute qualité et de faibles taux de sublimation Cl, et les caractéristiques d'émission thermique réduite de TEL IW-6D assurent un débit élevé de plaquettes dans le processus. TOKYO ELECTRON IW-6D est équipé de fonctions communes de simulation de processus incluant la contre-pression réglable, la pureté du gaz, la distribution du gaz, le débit de gaz et la pression du gaz. Le système d'analyse du gaz est intégré à IW-6D qui fournit une analyse en temps réel pour l'examen et l'ajustement des processus en ligne ainsi qu'une analyse des processus hors ligne après la collecte. Il dispose d'un dispositif d'entrée-tourbillon de gaz réglable pour une distribution uniforme du gaz et d'un régulateur de contre-pression réglable pour un contrôle optimal du processus. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D est conçu avec un taux de rampe réglable permettant des relevés rapides de la température entre les points de consigne, et un faible taux contrôlé arrêt à travers la zone de refroidissement, empêchant la dégradation des plaquettes par excès de temps de trempe thermique. Il offre également un gradient thermique uniforme en utilisant plusieurs chauffages en mode H. Toutes ces fonctionnalités contribuent à la haute qualité et aux meilleures performances de TEL IW-6D. TOKYO ELECTRON IW-6D est également capable de reproduire une variété de règles de conception dans sa chambre de processus et de fournir une reproductibilité complète des processus critiques. Son contrôleur de processus automatisé fournit la capacité de reproduire une variété de règles de conception de la manière technique et répétable requise dans l'industrie des semi-conducteurs. En outre, IW-6D est équipé d'un port de vue en quartz intégré et d'une porte d'alignement de plaquettes permettant à l'utilisateur de vérifier l'alignement et de vérifier les conditions du processus. TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D fournit également de multiples fonctions de surveillance des processus et des outils via le service de surveillance Ethernet pour un service à distance et un contrôle sécurisés depuis le site de l'utilisateur. Ce support comprend le diagnostic, l'affichage des indicateurs locaux, ainsi que le moniteur matériel et logiciel et le contrôle. Enfin, TEL IW-6D est livré avec des caractéristiques de sécurité telles que le verrouillage de sécurité et l'arrêt d'urgence. Ses informations de sécurité sont visibles et accessibles pour un bon fonctionnement au besoin. En conclusion, TOKYO ELECTRON IW-6D est un four de diffusion et des accessoires conçus pour fournir un débit élevé, une formation de couche de haute qualité et des processus répétitifs haute performance. Il est équipé de fonctions supérieures de simulation de processus, de taux de rampe réglables, de faible gradient thermique, de système d'analyse de gaz, de contrôleur de processus automatisé, de port de vue à quartz intégré et de diverses caractéristiques de sécurité pour un fonctionnement fiable et cohérent. C'est l'outil idéal pour les applications nécessitant une formation de couche exceptionnelle et la plus grande répétabilité.