Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H #9206524 à vendre en France

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ID: 9206524
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Vertical LPCVD nitride furnace, 12" Cassette to cassette 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H four de diffusion est la dernière technologie de pointe dans le traitement en ligne des plaquettes. Ce four de diffusion monobloc à chargement vertical offre une homogénéité et une répétabilité de grande précision. Son équipement électrique à flux constant chauffé au gaz fournit des résultats fiables pour le traitement des plaquettes de qualité supérieure avec un contrôle ultra-fin de l'atmosphère et de la température. TEL TELFORMULA 1-H peut atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C, et dispose d'un système de contrôle automatique de la pression (APC) et d'un compteur d'indication de température à haut contraste (HTI) pour garantir précision et précision. Ses buses intégrées sont conçues avec une voie d'acheminement du gaz simplifiée, offrant un débit de gaz uniforme et une capacité de purge rapide du gaz. La structure de support de charge de travail de TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H est spécialement conçue pour le traitement des plaquettes à haut rendement. En outre, son contrôle de séquence de processus de wafer basse pression et haute précision simplifie l'optimisation des processus. Cela réduit considérablement le coût du traitement des plaquettes. TELFORMULA 1-H dispose également d'un contrôle intelligent de synchronisation des processus, d'une unité de reconnaissance de l'uniformité de température et d'une machine automatique de chargement et de déchargement des plaquettes. Sa productivité est donc bien supérieure à celle des fours de diffusion classiques. En outre, il est équipé d'une interface conviviale moderne et peut effectuer un grand nombre d'étapes de recette le rendant idéal pour les processus complexes de plaquettes. Pour assurer la sécurité, TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H est équipé d'un interrupteur d'arrêt d'urgence, d'un moniteur de flux d'air de gaz de purge et d'un pyromètre infrarouge qui mesure l'atmosphère du four en temps réel. Dans l'ensemble, avec ses caractéristiques avancées, sa précision et sa répétabilité, le four de diffusion TEL TELFORMULA 1-H est le choix idéal pour le traitement de plaquettes haut de gamme. Sa technologie fiable garantit des résultats cohérents et son interface utilisateur intelligente permet des processus de plaquettes simplifiés et optimisés.
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