Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #9014197 à vendre en France

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ID: 9014197
Taille de la plaquette: 12"
Vertical diffusion furnaces, 12" Base unit for DCS HTO process Includes: Cabinets / units / controllers included Furnace cabinet (including ultra-clean air flow system) Scavenger and water cooling unit Power supply unit (U/P box) (Includes control unit, transformers, SCR, and breaker unit) Main controller (WAVES) Temperature controller FOUP and wafer handling automation included FOUP load port FOUP transfer 18 FOUP stocker FIMS port KHI wafer load automation Variable pitch change mechanism (w/5 fork) Auto tube shutter Boat elevator w/ boat rotation mechanism Mid temp heater: VMM-56-002 1 Included Includes outer/inner T/C Integrated gas system for DCS HTO 1 Included N2O gas stick 1 stick Included DSC gas stick 1 stick Included Purge N2 Vacuum vent Exhaust vent Piping tape heater PAC (Pre Activation Chamber) Vacuum foreline configurations Stainless steel manifold 80A foreline piping Foreline heater APC main valve Vacuum gauge & pressure switch US safety (S2-0302, S8-0999) Quartzware set for DCS HTO 1 Included (Including x2 of 75 slots Ladder Boat) System options: N2 Load lock option 1 Included - O2 analyzer - NGK SH-302 - O2 consumption rate controller Dual boat operation 1 Included N2 boat cooling shower 1 Included Fixture for start up and maintenance 1 Included Final valve unit 1 Included NH3 coating capability                            Hi-temp capacity (<850°C)                          2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B est un type de graveur, aussi appelé asher. Il s'agit d'un équipement de fabrication de dispositifs semi-conducteurs et photovoltaïques comprenant un système à vide, une unité source de procédé et une unité de procédé. Il utilise la technologie du faisceau d'électrons et une machine logicielle dédiée pour contrôler le processus de gravure en uniformité et précision. L'etcher s'appuie sur trois composants principaux de son outil : l'actif sous vide, le modèle de source de processus et l'unité de processus. L'équipement sous vide pompe l'air et le gaz de la chambre et au centre de celle-ci est la pompe turbomoléculaire. D'autre part, le système source de procédé joue un rôle clé dans l'alimentation en gaz source de plasma, auquel on accède par un réseau intégré de régulateurs de débit massique, de régulateurs de pression et de tubes perforés multi-gaz. Enfin, l'unité de traitement délivre le procédé de gravure à l'intérieur de la chambre en contrôlant les pressions gazeuses appliquées, les débits, la puissance et la cadence de l'unité. TEL TELINDY B etcher peut offrir une précision et un contrôle élevés dans le processus de gravure grâce à l'évaporateur à faisceau d'électrons. Ce faisceau est utilisé pour contrôler l'évaporation des sources de couches minces dans le contrôle de l'épaisseur et il a également la capacité de revêtir sélectivement des plaques. L'graveur permet également la disposition de nombreuses couches de processus pour la gravure à l'aide d'une machine de mesure CD (dimension critique). TOKYO ELECTRON TELINDY B etcher dispose également d'excellentes capacités de régulation de température, ce qui peut aider à réguler l'uniformité entre les différents substrats. L'un des avantages supplémentaires de cet graveur est que l'opérateur a la capacité d'utiliser des paramètres de processus tels que la pression de la chambre, la pression du gaz de refroidissement et le débit de gaz afin d'adapter le processus de gravure à leurs besoins. Enfin, l'etcher est très avancé car il est équipé d'un logiciel intuitif qui permet à l'opérateur d'optimiser le processus de gravure ainsi que d'automatiser de nombreuses tâches. Il est ainsi plus facile pour l'opérateur d'ajuster différents paramètres du processus et de s'assurer que le résultat du processus de gravure est cohérent et précis. Dans l'ensemble, TELINDY B est un graveur très avancé qui dispose d'un évaporateur de faisceau d'électrons pour assurer la précision et le contrôle du processus de gravure. Les opérateurs peuvent utiliser les paramètres du processus pour adapter le processus de gravure à leurs besoins, tandis que le logiciel intuitif assure la facilité d'utilisation et l'automatisation de certaines tâches.
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