Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800 à vendre en France
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Vendu
ID: 293595800
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Vertical LPCVD furnace, 12"
CIM: SECS-GEM
Process: LTO Oxide
(2) FOUPs
KHI Handler system
Rapid cooling unit
UPS
208 VAC
Gas detection box
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M est un four de diffusion et des accessoires conçus et fabriqués par TEL. Ce four de diffusion est conçu pour la production de dépôts en couches minces, le dopage et les procédés d'entraînement et est l'outil ultime pour la R-D avancée et les procédés industriels en couches minces. TEL TELINDY Plus-I-M four de diffusion utilise une technologie de couplage inductif pour générer des températures uniformes jusqu'à une impressionnante 950 ° C Ce four de diffusion dispose également d'une chambre de chauffage en verre de quartz pour assurer une sécurité maximale lorsque vous travaillez avec des températures extrêmement élevées. Avec une pression maximale de 600 Torr, TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M four de diffusion peut traiter n'importe quelle application entraînée par diffusion. Ce four à diffusions est également équipé d'un dispositif de contrôle automatique, qui permet un contrôle précis et prédictif de chaque processus de manière sûre et efficace. TELINDY Plus-I-M comprend également une variété d'accessoires, dont un équipement de contrôle des gaz, un système d'alimentation en réactifs à phase gazeuse, une unité de mesure de la température et un onduleur à vide, contribuant ainsi à créer un environnement de traitement stable. Pour assurer la sécurité des opérateurs pendant le fonctionnement, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M dispose d'une machine externe de surtempérature et de verrouillage au sol qui permet d'éliminer toute augmentation inattendue des températures ou des anomalies électriques. Il dispose également d'une conception multi-pièges qui fournit des pièges froids et chauds pour une meilleure efficacité de collecte ainsi que des niveaux de sécurité supérieurs. TEL TELINDY Plus-I-M four de diffusion est conçu pour répondre aux exigences de production les plus élevées pour le contrôle de précision des caractéristiques fines et l'uniformité de température. Avec un chauffage et un refroidissement contrôlés avec précision, des temps de traitement courts et des caractéristiques de sécurité supérieures, ce four de diffusion est un choix idéal pour ceux qui travaillent dans des procédés industriels avancés en couches minces.
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