Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258 à vendre en France

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS offre des performances inégalées de four de diffusion et d'accessoires. Ce modèle est conçu pour des applications avancées de semi-conducteurs et est idéal pour une variété de procédés à ultra-basse température. Il s'agit d'un équipement de zone thermique unique équipé d'une tête de cassette de 4 pouces et 25 positions et d'un chauffe-quartz de 8 pouces. La zone thermique est conçue pour contrôler et gérer la température et l'uniformité. De plus, le système utilise un contrôle automatisé du débit du tube de quartz pour optimiser les processus. L'encombrement du four est de 1200 mm (en hauteur) et de 1900 mm (en longueur). TEL UL-2604-08-HS dispose d'une large gamme de températures (jusqu'à 1 400 ° C) et d'une homogénéité à basse température de ± 2,0 ° C (exprimée en 1𝛅). Le contrôle de la température se fait via un contrôleur logique programmable (PLC) avec un affichage couleur de 5,7 pouces. D'autres fonctionnalités incluent le contrôle de processus utilisant un calcul de flux thermique, le contrôle in situ O2 via un analyseur intégré, et les capacités de communication pour relier à un réseau d'ordinateurs. L'unité est équipée de caractéristiques de conception avancées pour assurer l'uniformité de température et la répétabilité du processus. Les cartouches d'enroulement thermique en spirale résistif de haute précision dans le réchauffeur offrent une excellente uniformité de température. Un ventilateur de chauffage intégré permet d'optimiser la répartition de la température sur la plaquette semi-conductrice. Des chicanes d'air automatiques reliées au réchauffeur offrent une uniformité de température supplémentaire et une répartition cohérente des processus. La machine TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS offre également des caractéristiques de sécurité avancées pour protéger les utilisateurs et le processus. Un interrupteur à haute température est utilisé pour contrôler la température de la chambre de chauffage. Il peut détecter les fluctuations de température en aval du réchauffeur et fermera automatiquement l'outil si des températures de fonctionnement dangereuses sont détectées. Une serrure automatique de porte de chambre assure la sécurité de la chambre pendant le processus. UL-2604-08-HS dispose d'un système intégré de déverrouillage automatique des portes. Ce modèle peut être déclenché manuellement via l'équipement PLC ou une commande externe. Un ensemble unique intégré avec le chauffage, les tubes à quartz, le ventilateur de chauffage et le contrôle de la température fournit un four de diffusion et un système d'accès efficaces et fiables.