Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226230 à vendre en France
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ID: 9226230
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1989
LPCVD System, 6"
1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS est un four à diffusion et des accessoires conçus pour des procédés de fabrication de plaquettes à haut débit tels que l'amincissement de plaquettes de silicium, le dépôt épitaxié et la fabrication de transistors. Il dispose d'un creuset de grand diamètre, d'un creuset de fond, d'une chambre de mélange de cristaux robuste et de ports à basse dépression. Le creuset de fond des fours est un diamètre plus grand que les fours classiques qui assure une répartition uniforme de la température et un débit plus élevé et plus rapide avec de grandes plaquettes. La paroi en quartz-verre du creuset élimine également la contamination et la formation de défauts entre plaquettes. TEL UL-2604-08-LS est équipé d'une chambre de mélange cristallin avancée qui produit d'excellents procédés de mélange pour le dépôt épitaxié de silicium à la fois dans l'atmosphère et dans les réactions de dépôt de chlorhydrate de nitrosyle. On assure ainsi une qualité optimale des couches de silicium épi déposées et des dispositifs proches. Le four est encore amélioré avec des ports à vide et une construction étanche pour assurer une contamination minimale pendant le processus de traitement des plaquettes. L'orifice permet également de réguler la pression du gaz pour contrôler l'isolation de l'inducteur du dispositif avec une température réglable. Un servomoteur d'accès à distance est également inclus avec TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS, permettant aux utilisateurs de faire fonctionner le four à distance depuis n'importe quel PC tout en surveillant et en gérant le processus de production. De plus, un thermocouple de contact multi-canaux assure une détection de température uniforme avec une précision de température très stable, une réponse rapide et une faible consommation d'énergie. UL-2604-08-LS est un four de diffusion très avancé et des accessoires qui fournissent une productivité optimisée pour les processus de fabrication de plaquettes. Son creuset de chargement de fond de grand diamètre, sa chambre de mélange de cristaux, ses ports à basse dépression et son accès à distance contribuent à garantir un débit élevé et une excellente qualité de l'appareil. Avec ses fonctionnalités avancées, TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS est sûr de répondre aux besoins de tout processus de fabrication d'appareils.
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