Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08 est un four de diffusion sophistiqué conçu et fabriqué par TEL Limited. Il est composé de trois couches pour différents procédés de dépôt : chauffage vertical, chauffage horizontal et refroidissement vertical. La couche chauffante verticale est équipée d'un distributeur de gaz, de radiateurs et de fenêtres RF mobiles à trois étages. La couche de chauffage horizontale est équipée de plusieurs chauffages à convection et la couche de refroidissement vertical est équipée d'un ventilateur circulant et d'un dissipateur thermique. Ce four de diffusion a une température maximale de 1 850 ° C et un temps de fonctionnement maximal de 90 minutes. Supplémentairement, il est équipé avec trois 3000V les alimentations électriques pour garantir l'opération précise et ferme. Le contrôle des alimentations est effectué via un équipement informatique intégré, fonctionnant sous Windows 7 OS. Ce système d'exploitation permet divers réglages, y compris le contrôle de la température, le contrôle de la zone de préchauffage, le contrôle de la zone de dépôt et le contrôle de la zone de refroidissement. TEL UL 2604-08 peut être utilisé pour divers procédés et matériaux de dépôt tels que Poly-Si, Mo-Si2 et Ni-Silicid. En outre, il peut être utilisé à la fois pour le dépôt directionnel et linéaire. Il est conçu pour être économe en énergie, avec une faible consommation d'énergie et un faible niveau de bruit. Il dispose également d'une unité d'arrêt automatique qui arrêtera automatiquement le fonctionnement lorsque le processus aura pris fin. L'équipement comprend également une fonction automatique de levage/de levage et trois serrures à air, permettant le chargement/déchargement rapide des pièces de travail. TOKYO ELECTRON UL 2604-08 est également équipé d'un obturateur de type A pour aider à maintenir une faible concentration de substrat, permettant une plus grande uniformité de texture des plaquettes. Enfin, il est équipé d'une machine d'accès à distance améliorée et d'une lampe d'alarme, permettant une marge de sécurité accrue. Logé dans une seule robe et un design compact, UL 2604-08 est un four de diffusion idéal pour diverses applications industrielles. Avec des systèmes de contrôle automatique intégrés et diverses autres caractéristiques, TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08 est un four de diffusion fiable, robuste et économique de TOKYO ELECTRON.
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