Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H #9155404 à vendre en France
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ID: 9155404
Taille de la plaquette: 6"
Horizontal furnace, 6"
4 Stack
POCl3 Process.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H est un four à diffusion et un accessoire conçu pour répondre aux exigences thermiques élevées de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement se compose d'un corps en quartz robuste et performant qui permet un chauffage uniforme. Le corps de quartz robuste utilise une combinaison de méthodes de chauffage in-situ et ex-situ ainsi que les principes de diffusion pour répartir uniformément la chaleur dans l'environnement de traitement. TEL UL 2604-08H est idéal pour le processus de diffusion de dopants. Il offre des fonctionnalités telles que le contrôle linéaire de précision du chauffage à haute température, la fiabilité, une large gamme de températures, et la capacité à basse température. De plus, ce système offre des options de contrôle de périphériques flexibles et d'excellentes propriétés d'isolation. TOKYO ELECTRON UL 2604-08H a une structure multi-zones avec des zones principales horizontales et des zones filtrantes. La zone principale est divisée en quatre zones individuelles contrôlées par la température. Ce four est conçu avec un intérieur de paroi chaude ultra basse pression efficace, en boucle fermée, assurant une répartition thermique uniforme dans les quatre zones de température. Il est équipé de trois ventilateurs de refroidissement pour augmenter l'efficacité de refroidissement et l'ajout d'une chicane de CO2 pour contrôler le flux d'air. Par ailleurs, UL 2604-08H dispose d'une machine automatisée de contrôle de gaz capable d'utiliser une variété de gaz avec un débit maximal de 600 SLM. L'outil offre également des fonctionnalités facultatives telles que télécommande et surveillance, détecteur de capture d'électrons (ECD) pour la surveillance des performances, contrôleur PID programmable, et un filtre anti-contamination. Cet atout est équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels que des mécanismes d'arrêt d'urgence et un modèle de verrouillage de sécurité. De plus, un orifice d'échappement est installé pour maintenir les conditions ambiantes et réduire les temps d'arrêt du processus. TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H est un four à diffusion avancée et un accessoire conçu pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre un intérieur efficace, à paroi chaude basse pression, et des ventilateurs de refroidissement efficaces pour une répartition égale de la température. Cet équipement est hautement personnalisable et offre plusieurs fonctionnalités facultatives pour une sécurité et une fiabilité accrues. TEL UL 2604-08H est un choix idéal pour le fabricant de dispositifs semi-conducteurs modernes.
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