Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #293586739 à vendre en France
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ID: 293586739
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Diffusion furnace, 6"
1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L est un four à diffusion thermique haute performance spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le four de diffusion utilise un tube d'alimentation en gaz de haute puissance et des principes électrostatiques pour déposer et allier des couches de matériau protecteur à la surface des matériaux semi-conducteurs. Il est très précis, économe en énergie et fiable, ce qui en fait un choix privilégié pour la production de semi-conducteurs. Le tube d'alimentation en gaz du four est constitué de deux surfaces résistives à la chaleur. Le premier dirige le plasma de forte puissance sur le substrat pour déposer la couche protectrice. La deuxième surface est plus petite et précise et assure une aire de diffusion uniforme. La surface uniforme assure une diffusion constante et efficace de la couche de matériau de protection sur l'ensemble du substrat. TEL UL 2604-08L dispose de deux composants optionnels : des bras de transfert automatiques doubles et des capteurs de poussière équipés de capteurs de chaleur multiples. Les bras de transfert automatique sont utilisés pour transporter des substrats de plaquettes entre les nombreuses étapes de diffusion et de régulation de température. Les capteurs thermiques, quant à eux, surveillent la température du four en plusieurs points et fournissent un retour d'information au contrôleur. Les collecteurs de poussières permettent d'éliminer les poussières et les particules en suspension dans l'air qui peuvent se trouver dans la chambre d'échange, ce qui assure la propreté et la sécurité de la zone de travail. TOKYO ELECTRON UL 2604-08L dispose également de commandes tactiles conviviales, qui permettent aux opérateurs de personnaliser leurs propres profils, en fonction des matériaux traités. Les profils sont stockés sur un disque dur et peuvent être facilement ajustés, ce qui permet des réglages rapides et faciles lorsqu'il s'agit d'une variété de substrats. Du point de vue de la sécurité, UL 2604-08L comprend des alarmes de fin d'obturation, des gardes de tiers et des systèmes de contrôle d'accès. Les alarmes de fin d'obturation sont déclenchées chaque fois que la porte du four est ouverte et cesseront de fonctionner si la porte n'est pas fermée correctement. Les gardiens de troisième personne et les systèmes de contrôle d'accès protègent contre l'entrée de personnel non autorisé dans la chambre du four ou l'exécution d'actions non autorisées, respectivement. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L est un four de diffusion sophistiqué, très précis et fiable conçu pour répondre aux exigences de l'industrie de la production de semi-conducteurs. Son tube d'alimentation en gaz à haute puissance et économe en énergie et ses bras de transfert automatiques doubles, combinés à des contrôles tactiles conviviaux et une multitude de caractéristiques axées sur la sécurité en font le choix privilégié pour la production de semi-conducteurs.
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