Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #9395933 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L est un four à diffusion et un accessoire conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il s'agit d'un four de diffusion horizontal à paroi chaude conçu pour traiter simultanément les substrats semi-conducteurs de type P et N dans une seule chambre. Ce four de diffusion est utilisé pour des films de haute pureté, tels que l'arséniure de silicium et de gallium, pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TEL UL 2604-08L dispose d'une chambre à ultra-haut vide (UHV) en un équipement de pulvérisation en acier inoxydable qui assure une excellente stabilité thermique et une répartition uniforme des gaz à l'intérieur de la chambre. L'intérieur de la chambre est également équipé de chauffages et de régulateurs de température pour un contrôle précis des températures à travers la surface. Il est conçu pour traiter des substrats jusqu'à 200mm de largeur et peut fonctionner à des températures allant jusqu'à 800 ° C avec une capacité de température maximale allant jusqu'à 1100 ° C si la taille du substrat est inférieure à 140mm. En outre, le réchauffeur dispose d'un contrôle de température multi-zones pour un chauffage uniforme à travers la chambre. TOKYO ELECTRON UL 2604-08L offre également un couple moteur accru et une durée de vie plus longue avec son système de moteur à double entraînement. Il est également capable d'un traitement thermique avancé du substrat, tel que l'oxydation, la nitridation, et d'autres procédés aptes à faire passer des signaux ULF (ultra basse fréquence) ainsi qu'un couplage haute fréquence. UL 2604-08L est conçu avec des dispositifs de sécurité tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence et une unité de sécurité automatisée. La machine comprend également un outil de surveillance de la puissance qui surveille la consommation d'énergie et fermera l'actif si la consommation d'énergie dépasse le niveau prédéterminé. De plus, le modèle est équipé d'un équipement de purge automatique pour la prévention des fuites de gaz. Son système d'échappement est équipé d'un filtre intégré et permet de réduire l'échappement des gaz dangereux. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08L four de diffusion et accessoire est idéal pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs. Il est construit avec une combinaison d'ingénierie supérieure et de technologie de pointe qui garantit des produits fiables et de haute qualité. Ce four de diffusion permet aux utilisateurs d'obtenir un contrôle précis de la température et une excellente uniformité, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement à l'échelle de production des semi-conducteurs.