Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #61662 à vendre en France
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ID: 61662
Furnaces
Cantilever loading system
Pyrogenic gas system
Furnace 1:
Tube 1:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Oxidation process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 Bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER Bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER Bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107
Furnace 2:
Tube 1:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 2:
Drive in process
(5) MFC Gas jungles with SCHUMACHER TSC107 bubbler
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
MFC 3: Low O2
MFC 4: H2
MFC 5: Low N2 for SCHUMACHER bubbler
H2 O2 Torch
Tube 3:
Boron diffusion process
(2) MFC Gas jungles with SCHUMACHER bubbler TSC107
MFC 1: High N2
MFC 2: High O2
Tube 4:
Sinter process
MFC Gas jungle with SCHUMACHER bubbler TSC107.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H est un four de diffusion et accessoire. C'est un outil avancé utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé pour la croissance de couches minces et de revêtements sur différents substrats, tels que la métallisation, le diélectrique et le placage métallique. Le four de diffusion TEL UL 2604-10H est un produit haut de gamme de TEL. Il dispose de 10 zones de chauffage avec les cotes de température les plus élevées actuellement disponibles sur le marché pour la production de dépôt en couches minces de qualité. La température maximale de traitement de ce produit est de 2600 ° C, et il supporte des niveaux de puissance jusqu'à 30 kW. TOKYO ELECTRON UL 2604-10H offre également une variété d'options de contrôle qui facilitent un contrôle précis de la croissance et du dépôt des matériaux. Cela inclut le contrôle du thermomètre résistif Pt 100, ainsi que la protection contre les températures excessives. Cela garantit que toute erreur de processus due à la température excessive est corrigée rapidement et efficacement. UL 2604-10H dispose d'un four à creuset en SILTECH Cu-Mo-Cr double forgé avec une chambre de travail extra-grande. Ceci permet une surface de dépôt beaucoup plus grande, permettant aux utilisateurs d'obtenir une uniformité supérieure de dépôt de film. En plus de ses hautes performances, TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10H est également incroyablement fiable et sûr. Le four dispose d'un équipement de sécurité propriétaire, qui surveille et protège le four contre les défauts de processus et de sécurité. Le four est également étanche à la poussière, les particules de poussière restant à l'intérieur du système, empêchant les poussières et les solvants nocifs d'entrer dans la chambre. TEL UL 2604-10H propose également une variété d'accessoires, y compris des creusets en quartz, des modules de traitement ultra-propres C4 et une unité sous vide. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser l'équipement et les composants de traitement pour répondre aux besoins spécifiques de leur processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UL 2604-10H de TOKYO ELECTRON est une machine de dépôt thermique haut de gamme, conçue pour répondre aux normes de qualité et de performance les plus élevées. Avec des capacités impressionnantes de température, de puissance et de contrôle, ainsi qu'une variété d'accessoires et de dispositifs de sécurité, ce four de diffusion et accessoire est parfait pour une variété d'applications de semi-conducteurs, de microfabrication et de dépôt en couches minces.
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