Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9276695 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080 est un four de diffusion et son accessoire utilisé pour la diffusion uniforme de dopants tels que le phosphore et l'arsenic pour préparer des structures de dispositifs à grande vitesse utilisés dans les semi-conducteurs et autres dispositifs. Il est conçu pour une homogénéité supérieure du substrat et un débit élevé, car le four est capable de déposer jusqu'à 30 groupes de plaquettes de 200 mm en même temps. Il offre également une excellente uniformité de procédé du début à la fin du four. TEL UX-1080 est équipé d'un four de transfert de bateau étendu à l'horizontale. Il est conçu avec un mécanisme d'accélération à gaz, qui permet une accélération et une décélération rapides du bateau, réduisant le temps nécessaire au transfert de la plaquette. En outre, la chambre de surface supérieure offre une convection chauffée avec un mouvement horizontal uniforme et rapide, permettant un chauffage uniforme tout au long du processus. Le processus de diffusion dans TOKYO ELECTRON UX-1080 se compose de trois étapes : préchauffer, réagir et refroidir. L'étape de préchauffage utilise un rouleau chauffant programmable pour assurer une température de surface uniforme de la plaquette et un débit élevé. L'étage réactionnel est équipé d'un système de chauffage inductif qui permet une élévation rapide de la température de la plaquette et une excellente uniformité de température, ce qui affecte positivement l'uniformité de diffusion. Dans la phase de refroidissement, un nouveau « système de refroidissement rapide » offre une excellente uniformité de refroidissement malgré un débit élevé dû à des gradients thermiques minimisés dans le four. En outre, UX-1080 est adapté à diverses applications telles que le collage de diffusion, l'oxydation de grille, les silicures et les technologies d'oxydation sélective. Il est également équipé d'un système de refroidissement permettant le post-recuit des plaquettes sans avoir besoin d'une chambre de refroidissement séparée. Cette caractéristique est particulièrement intéressante lorsqu'elle est utilisée avec des dispositifs à semi-conducteurs rapides nécessitant une stabilisation thermique rapide. TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080 four de diffusion est idéal pour la production de produits semi-conducteurs de petite taille et haute fréquence. Sa conception robuste, son contrôle uniforme des procédés, sa faible perte de chaleur et son fonctionnement à grande vitesse en font une option attrayante pour une production à grande échelle, offrant un contrôle de qualité supérieur et des résultats reproductibles.