Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #293819010 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est un four de diffusion avancé et des accessoires avec des capacités de performance qui en font un choix idéal pour de nombreuses applications de fabrication. Il dispose d'une plaque de pulvérisation céramique standard et dispose d'une température élevée, ce qui le rend adapté aux procédés thermiques généraux dans l'industrie des semi-conducteurs. Le four fonctionne avec une température maximale de 1150 ° C, assurant une performance fiable et répétable avec l'hydrogène ou l'azote ambiant. TEL UX-11P10-4HT a une construction robuste et une gamme de caractéristiques pour assurer un fonctionnement fiable et des performances constantes dans le temps. Il dispose d'un système de chauffage zoné, avec 4 zones de chauffage contrôlables indépendamment qui permettent d'atteindre des températures élevées dans une période beaucoup plus courte. Le four comporte également une unité de refroidissement qui refroidit rapidement la chambre et la plaque de suscepteur, pour permettre un traitement ultérieur dès que la température désirée est atteinte. Il est doté d'un élément de chauffage CVD infrarouge radiométrique de 1000 W/cm2, permettant un processus de chauffage cohérent et un contrôle de processus de haut niveau. L'uniformité de température du four de ± 3 ° C sur une plaquette de 100-280mm de diamètre permet un processus thermique uniforme sur une gamme de substrats. TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT comprend également une gamme d'options de processus pour garantir des performances optimales pour les produits visés. Il dispose d'une variété d'options de contrôle du débit pour doser les gaz dans la chambre de réaction, y compris des régulateurs de débit massique, des MFC et une installation IFAC pour assurer une concentration précise tout au long du processus. Le four est également capable de fonctionner dans des environnements basse pression, avec une option basse pression qui peut être utilisé jusqu'à 0,1 mbar. La machine dispose également d'une source d'énergie RF, permettant à des procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) d'avoir lieu dans l'environnement du four. Un contrôleur intégré est fourni avec le four, permettant à l'utilisateur de contrôler avec précision les températures et de suivre les tendances pour assurer le plus haut niveau de performance tout au long du processus. UX-11P10-4HT est un choix idéal pour une variété de procédés de fabrication, grâce à sa construction robuste et ses performances fiables. Sa large gamme d'options de processus, son contrôleur intégré et sa haute température en font un excellent choix pour tous les besoins de production.