Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198280 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est un four à diffusion et accessoire, conçu pour les opérations de traitement à haut débit des plaquettes semi-conductrices. Il est adapté aux applications de production et de recherche, allant de l'oxydation du silicium en vrac au traitement des matériaux de haute performance. TEL UX-11P10-4HT est un four à diffusion horizontale monobloc qui peut traiter jusqu'à quatre plaquettes de 8 pouces de diamètre ou deux plaquettes de 12 pouces en parallèle. L'équipement a une conception modulaire et ses principaux composants sont un porte-plaquettes, un dispositif de chauffage, un système de distribution de gaz, une alimentation électrique, une unité d'échappement et une unité de contrôle des gaz réactifs. Le porte-plaquettes TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est équipé d'un suscepteur, d'un chauffage diélectrique en céramique et d'un mécanisme de levage motorisé. Le réchauffeur à pulvérisateur dispose d'un revêtement AlTiC pour améliorer l'uniformité thermique, ce qui permet d'améliorer l'uniformité de température sur toute la surface de la plaquette pendant le processus de diffusion. Le mécanisme de levage motorisé permet un réglage fin du réchauffeur et du suscepteur dans la direction verticale de l'axe Z. La machine de distribution de gaz de UX-11P10-4HT est constituée d'un panneau de gaz, d'un débitmètre et de conduites de gaz, qui sont utilisés pour introduire les gaz nécessaires au traitement de la plaquette. L'alimentation de l'outil est constituée d'un générateur de courant alternatif et d'une alimentation en courant continu, qui fournit l'énergie nécessaire à l'étape de chauffage du four. L'actif d'échappement de TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est conçu pour prélever les gaz produits lors du traitement de la plaquette et fournit un rendement d'échappement élevé. L'unité de contrôle des gaz du modèle contient les composants nécessaires pour injecter la quantité de gaz désirée au bon moment pour satisfaire aux exigences du procédé. En conclusion, TEL UX-11P10-4HT est un four de diffusion à haut débit conçu pour gérer les opérations de traitement des semi-conducteurs avec un niveau impressionnant de contrôle et d'efficacité. La conception modulaire de ses composants le rend facile à intégrer dans les flux de processus existants, et son dispositif de chauffage et de contrôle des gaz permet une gestion précise de la température et du gaz. Grâce à ces caractéristiques, TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est devenu un choix fiable et rentable pour la production et la recherche dans l'industrie des semi-conducteurs.