Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198284 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est un four à diffusion et ses accessoires utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour permettre la diffusion de gaz implant dans des plaquettes de silicium. TEL UX-11P10-4HT est un four de diffusion qui est conçu avec une chambre de verrouillage de charge monobloc, permettant un accès rapide et la possibilité de traiter plusieurs plaquettes en un seul cycle. Les dimensions extérieures sont de 1130mm (W) x 980mm (D) x 1985mm (H) et la température maximale standard du procédé est de 1100 ° C (2000 ° F). Le four utilise la technologie avancée POCVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) pour un contrôle optimal de la température et une résistance thermique relativement faible. Le logiciel d'accompagnement est très avancé et permet un contrôle précis des paramètres du processus de diffusion. Le fonctionnement peut être contrôlé depuis l'extérieur de la chambre et est conçu pour une intégration facile avec d'autres équipements d'automatisation. En plus du four de diffusion, l'ensemble complet des accessoires qui l'accompagnent comprend un système modulaire de boîte à gaz qui permet la manutention et l'approvisionnement en sécurité de divers gaz et matériaux. Il est équipé d'une interface thermocouple, permettant à l'utilisateur de surveiller le processus en temps réel. L'alimentation fournie est capable de délivrer jusqu'à 4KW dans la chambre. Un générateur RF à double onde avancé est prévu pour assurer une ionisation optimale de la chambre. Le four de diffusion TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est conçu pour un accès rapide et facile. Il est équipé d'un collecteur mobile monté sur le couvercle de la chambre, ainsi que d'un système de régulation de température qui délivre une température constante dans la zone de diffusion de la chambre de procédé. La chambre peut fonctionner dans différentes atmosphères, y compris l'hélium, l'argon et l'azote. Dans l'ensemble, UX-11P10-4HT est un système de four de diffusion avancé et efficace conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Équipé de ses accessoires et logiciels d'accompagnement, il répond à tous les besoins d'un processus de diffusion standard. Il a été conçu avec la fiabilité et la sécurité en tête, assurant la tranquillité d'esprit des utilisateurs dans leurs processus et d'excellents résultats.