Occasion TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est un four de diffusion intégré de pointe et un équipement accessoire qui offre des capacités de traitement thermique de précision pour une variété d'applications. Ce dispositif de chargement supérieur en forme de polygone est construit à partir de composants en acier inoxydable et est doté d'une coque de confinement à trois zones munie d'un mécanisme de porte hermétique pour assurer une répétabilité et une sécurité maximales du processus. Le système fonctionne par un réseau monocouche à quatre chambres avec des éléments chauffants directs à deux côtés opposés et un composant central basé sur une conception brevetée de diffusion thermique « arrowhead ». Les zones actives de la cellule de diffusion comprennent une zone chaude, une zone chaude et une zone froide, chacune avec un contrôle indépendant de la température et une température maximale de 1150 ° C La station de traitement de la sphère TiN est adaptée aux processus de diffusion uniformes et offre une solution flexible et fiable aux processus d'oxydation spécifiques à l'industrie et à d'autres gaz. Équipé d'une surveillance de l'émissivité in situ, TEL UX-11P10-4HT offre une uniformité de température et une stabilité supérieures au sein de la cellule de diffusion. Les outils d'analyse embarqués permettent une surveillance des processus en temps réel avec des mesures de gaz et de température. Les caractéristiques supplémentaires de TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT comprennent un processus automatisé de cassette avec une plaque adaptatrice de cassette, une douche à gaz actif entièrement fermée, une serrure de charge/unité de déchargement de chambre, et de multiples capacités de processus thermique rapide. De plus, la machine est équipée d'un outil intégré et peu profilé de distribution de gaz pour fournir une alimentation cohérente en gaz de procédé. L'actif est également doté de plusieurs améliorations conviviales, telles qu'un modèle de maintenance facilement accessible et un affichage numérique de lecture de la température, ainsi qu'un logiciel de processus intuitif pour l'analyse et le suivi. En résumé, UX-11P10-4HT est un four de diffusion avancé et intégré et un système accessoire avec des capacités de traitement thermique de précision pour une variété d'applications. Son mécanisme hermétique de porte, sa coquille de confinement à trois zones et sa surveillance de l'émissivité in situ offrent une uniformité et une stabilité de température supérieures dans la cellule de traitement. Avec un processus de cassette de plaquettes automatisé et de multiples capacités de processus thermique rapide, TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT est idéal pour fournir un approvisionnement cohérent en gaz de procédé et des améliorations faciles à utiliser.
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