Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747447 à vendre en France
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ID: 293747447
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
Diffusion furnace, 6"
1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S est un four de diffusion et un accessoire utilisé dans le processus industriel de création de dispositifs semi-conducteurs tels que des dispositifs pour puces informatiques, cellules solaires et transistors. Le four de diffusion utilise des procédés de diffusion thermique pour doper des substrats semi-conducteurs avec différents éléments (principalement du bore et du phosphore) nécessaires à la production. Il s'agit d'un tube à procédé en quartz d'une longueur de 1600 mm et d'une largeur de 166 mm capable de travailler à une température maximale de 1250 degrés Celsius, et est utilisé dans les procédés d'implantation, de diffusion, de recuit et d'oxydation thermique. L'inertie thermique élevée offerte par le four de diffusion TEL VCF-615S en fait un équipement de miniaturisation idéal pour la fabrication à haut courant de composants miniatures. L'efficacité du four diffus tient non seulement à sa forte inertie thermique, mais aussi à sa précision et à sa fiabilité, ainsi qu'à son faible coût unitaire. Il offre également un contrôle maximal du processus en termes d'uniformité de température, de vitesse de chauffage élevée et de capacité à régler les températures avec précision et rapidité. Le four est également doté d'un système de thermocouple capable de réguler activement les températures des procédés, d'une gamme complète de systèmes de contrôle des temps et des débits de diffusion et de gaz de fond intégrés (Ar et H2). De plus, son unité de mesure de gaz est équipée de dispositifs de sécurité pour éviter la contamination du tube de procédé, ainsi que pour éviter toute accumulation de niveaux dangereux de gaz dans la machine. En outre, TOKYO ELECTRON VCF 615S offre des évents intégrés qui assurent une dispersion rapide des gaz de procédé et évitent les risques de niveaux dangereux d'accumulation. L'unité dispose d'une chambre en aluminium isolée Ni-Pt à trois couches, et la chambre de protection assure la sécurité en tout temps. Le four assure également une résistance aux chocs thermiques et à haute température. De plus, la chambre à quartz présente une finition de surface qui assure un bon contact du module. Le four et l'accessoire de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615S sont un dispositif fiable et robuste qui peut offrir un dopage efficace et précis des différents éléments nécessaires à la création de dispositifs semi-conducteurs. Doté d'une large gamme de caractéristiques telles que des systèmes de thermocouple, des systèmes de contrôle, des gaz de fond, des gaz de procédé, une chambre de protection et une chambre en aluminium isolée Ni-Pt, ce four de diffusion offre une solution puissante et fiable pour la création de semi-conducteurs.
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