Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9269439 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S est un four à diffusion verticale avec un certain nombre d'accessoires qui permettent des processus de diffusion plus précis et plus efficaces. Il est conçu pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs telles que l'oxydation, la gettering, le dépôt et le traitement thermique rapide (RTP). Le four lui-même est fait de composants de haute qualité tels qu'une chambre de chaleur en acier inoxydable. Cette chambre est assortie d'un puissant équipement de chauffage à double zone, doté à la fois d'un contrôle de température PID réglable par l'utilisateur et d'une précision de chauffage 0.1℃. La chambre peut également être inclinée pour bénéficier de l'option assistée par gravité, ce qui permet une homogénéité maximale dans le processus de diffusion. TEL VCF-615S dispose également d'un bateau à quartz pouvant contenir jusqu'à 200 mm de plaquettes. Ce bateau est soulevé par une porte double-doom qui aide à maintenir les plaquettes en sécurité pendant le processus. Le bateau à quartz peut également basculer à 45 ° pour un meilleur refroidissement et positionnement des plaquettes. Pour le chargement et le déchargement, TOKYO ELECTRON VCF 615S est équipé d'un système automatisé de navette à cassettes. Cette unité commandée par PC peut déplacer des plaquettes jusqu'à un demi-mètre de la chambre de chaleur pour réduire les effets du rayonnement thermique sur l'opérateur. La navette permet également aux utilisateurs de précharger et de post-charger des plaquettes pour des temps de chargement plus rapides. En plus de tout ce qui précède, TEL VCF 615S propose plusieurs accessoires qui peuvent améliorer ses performances. L'un d'eux est le moniteur de diffusion, qui surveille le processus de diffusion en temps réel pour assurer la sécurité et la précision. Le moniteur dispose également d'un écran couleur intégré qui peut être utilisé pour observer le processus et pour entrer des données. D'autres accessoires tels qu'un enregistreur de données et des systèmes de dépression peuvent encore augmenter l'efficacité du procédé. En conclusion, VCF-615S est un four de diffusion vertical bien conçu qui offre de nombreuses caractéristiques et accessoires pour une utilisation plus efficace. Le four et ses accessoires sont tous conçus avec sécurité et précision, ce qui en fait un excellent outil pour les applications semi-conductrices.
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