Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VCF615C #9137186 à vendre en France

Le four et accessoire de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C est un outil spécialisé utilisé pour le dépôt de structures planes ou non avec précision de positionnement et fiabilité. Cet équipement est particulièrement utile pour la fabrication et le développement de semi-conducteurs. Le système TEL VCF615C comprend une chambre de procédé, un robot de transfert, un Transporteur et une Unité de Transfert de Substrat Amélioré (ESTS). La chambre de procédé est conçue avec une architecture qui favorise le traitement de substrats plus grands et offre des niveaux de contamination faibles. Le robot de transfert est équipé d'un moteur pas à pas et d'une machine d'entraînement direct pour assurer un mouvement lisse et fiable pour le transfert des substrats entre la chambre et le Transporteur. Le Transporteur est un outil de chargement à grande vitesse capable de retenir de grandes quantités de substrats et d'assurer un chargement/déchargement rapide des substrats. Enfin, l'ESTS assure un alignement rapide et précis des substrats. L'atout offre une large gamme de capacités de substrat, y compris des plaquettes de 3 à 12 pouces, ainsi que des feuilles métalliques et des porte-rubans. TOKYO ELECTRON VCF615C offre également un contrôle optimal des processus avec prise en charge locale et à distance. Il est également compatible avec un ensemble de fonctionnalités optionnelles, telles que la détection in-situ et la surveillance en temps réel des paramètres du processus. Ces fonctionnalités sont fournies via TEL Process Data Analysis Model (PDAS). VCF615C dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité pour se protéger contre les dysfonctionnements, y compris des interrupteurs ouverts/fermés et des systèmes de sécurité à pression réduite s'activent dès que la pression normale dans la chambre est dépassée. En outre, il est conçu pour un fonctionnement ergonomique avec un écran tactile programmable puissant et un écran LCD inclinable. En résumé, le four et accessoire de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON VCF615C est un équipement de pointe conçu pour le traitement efficace et fiable de la diffusion des structures planaires et non planaires. Il offre un débit élevé dans un environnement de travail propre et sûr avec une gamme de capacités de substrat avancées pour la fabrication et le développement de semi-conducteurs.