Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR #293666967 à vendre en France

ID: 293666967
Furnace heater assembly.
TEL/TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR, est un four de diffusion de qualité conçu pour produire des plaquettes avec une intégrité fiable et des performances sans faille. Il offre un haut niveau de traçabilité et de contrôle pour répondre aux exigences des applications à très haut vide (UHV). TEL VCM-50-003EPR est équipé d'un four à paroi interne avec isolation extérieure pour des performances supérieures à haute température. Il est construit pour des performances de vide maximales dans la gamme de 10-10 Torr. La conception du four assure une répartition uniforme de la température dans la chambre UHV et l'atmosphère sous vide à deux zones pour une concentration optimale en oxygène. L'équipement est équipé de tubes à réaction en quartz, d'un dôme haute pression pour maintenir le tube à réaction, d'un brûleur à tube en quartz et d'un support de base pour un accès facile à l'intérieur. Le four comprend également un suscepteur en forme de C, une chambre de chargement en acier inoxydable et un mécanisme de verrouillage des portes. Le four a été conçu pour être utilisé avec une variété de matériaux, dont le silicium, le saphir, le nitrure de gallium (GaN) et d'autres matériaux utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Afin d'assurer un maximum de performance et de traçabilité, tous les matériaux utilisés dans le système sont soigneusement nettoyés avant utilisation. De plus, le contrôle précis du gaz carbonique, de l'azote, du chlore et d'autres atmosphères gazeuses en font le choix idéal pour les applications UHV les plus exigeantes. TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR dispose également d'un refroidissement externe fiable pour une meilleure sécurité. L'unité est livrée avec des chambres thermiques soigneusement sélectionnées et des récipients pour ces composants de refroidissement. Cela garantit que tous les compartiments extérieurs sont maintenus à une température sûre. Pour améliorer encore la sécurité, la machine est également livrée avec des systèmes de surveillance et d'alarme automatiques avec des capteurs supplémentaires pour assurer une température stable. En résumé, VCM-50-003EPR est un four de diffusion avancé qui est essayé et de confiance par l'industrie des semi-conducteurs. Il offre un haut niveau de traçabilité et de contrôle, chambre de chargement en acier inoxydable, un refroidissement externe fiable, et une sélection minutieuse de tuyaux thermiques et de récipients pour une sécurité accrue. En outre, il dispose de performances de vide supérieures, contrôle précis des atmosphères de gaz, et accès facile pour le nettoyage et l'entretien.
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