Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #9226260 à vendre en France
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ID: 9226260
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Diffusion furnace, 6"
1991 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 est un outil avancé de traitement et de fabrication de semi-conducteurs utilisé dans la fabrication de divers dispositifs. Il s'agit d'un four à diffusion verticale (VDF) avec un équipement de contrôle atmosphérique actif intégré, le VC-ACTS. TEL VDF 615 permet un trempage précis et un contrôle rapide du gradient thermique. Il est utilisé pour introduire des dopants dans une plaquette de silicium, permettant des propriétés de matériau et des performances du dispositif plus élevées. Le four comporte une chambre isolée, où les parois et la base sont scellées contre l'environnement. Cela garantit qu'aucun air ou autre contaminants ne peut pénétrer dans la chambre et affecter la pureté du procédé. Le matériau isolant qui entoure la chambre permet de maintenir une température uniforme dans toute la chambre. Les éléments de chauffage sont situés dans une structure en forme de boîte au sommet de TOKYO ELECTRON VDF 615 et sont conçus pour chauffer uniformément la chambre. Cela permet une température uniforme tout au long. Le VDF 615 dispose également d'un système de contrôle atmosphérique actif appelé VC-ACTS. Cette unité est composée d'une machine de circulation chauffée et d'un mécanisme de pompage à vide. L'outil de circulation chauffé répartit uniformément le dopant dans la chambre tandis que le mécanisme de pompage à vide abaisse la pression atmosphérique. Cela assure un contrôle atmosphérique uniforme, ce qui réduit le nombre de contaminants entrant dans la chambre et améliore le rendement du procédé. Un actif comptable indépendant, appelé PIII6, est intégré dans TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615. Ce modèle suit et mémorise toutes les valeurs des paramètres du processus dans un ordinateur. Cela permet une comparaison facile des données actuelles et historiques ainsi qu'une gestion efficace de la mémoire. Toutes les données peuvent être stockées jusqu'à 2 ans et accessibles à distance via Internet. TEL VDF 615 est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour diverses applications de traitement. Il offre des performances fiables, répétables et précises. L'équipement de contrôle atmosphérique actif intégré et le système de comptabilité PIII6 font de cet outil un choix fiable et convivial pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce four diffusif est conçu pour produire des produits de haute qualité et son contrôle continu de l'atmosphère donne des résultats cohérents.
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