Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615T #178007 à vendre en France

Le four de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615T est un outil fiable et de niveau avancé utilisé pour le traitement des substrats semi-conducteurs. Ses nombreuses capacités comprennent l'oxydation à haute température, la nitridation et le traitement thermique. Le four est composé d'une chambre en aluminium, de deux zones de chauffage, de deux zones de refroidissement, d'un panneau de gaz, de deux collecteurs de gaz, d'un bras de transfert de plaquettes et d'un antichambre équipé d'une cartouche de chauffage de 100mm et de divers accessoires. La chambre du four est en métal ondulé pour assurer un rendement thermique maximal. Il comporte deux zones de chauffage commandables indépendamment et deux zones de refroidissement. La première zone de chauffage sert à réguler la température lors du traitement, tandis que la seconde zone sert à préchauffer les matériaux avant le traitement de diffusion. Les deux zones sont commandées par des contrôleurs externes avec des contrôleurs de type PID ainsi que des capteurs de température de précision. Il dispose également d'un système de brûleur à pomme haute performance et d'un brûleur Diesel Hi-Velocity faible NOx avec de faibles émissions de rayonnement. Le panneau de gaz est conçu pour fournir de l'argon, de l'azote et de l'hydrogène à la chambre. Il régule le débit de gaz, la pression, la température et la composition à l'aide de deux collecteurs de gaz. Il comprend également un régulateur de débit massique pour un contrôle précis des gaz. Le bras de transfert de plaquettes est un bras d'action à commande pneumatique utilisé pour transporter des substrats dans et hors du four. Il se compose de deux bras reliés, un vertical et un horizontal, avec une pince de plaquette fixée à l'intersection. Il est commandé par un système motorisé programmable et est équipé d'une ligne de refroidissement pour des substrats chauffés en mouvement rapide. L'antichambre est équipé d'une cartouche chauffante de 100mm et de divers accessoires. La cartouche chauffante à échantillon, qui utilise un élément chauffant réfractaire à six zones, peut chauffer des échantillons jusqu'à 900 ° C Il dispose également d'un capteur de chauffage pour mesurer la température du chauffage. Les accessoires comprennent un pyromètre à 26 canaux, une unité de contrôle du débit de gaz, un régulateur de pression, une jauge de dépression et diverses soupapes de dépression. Le four de diffusion TEL VDF 615T est un outil fiable et de niveau avancé avec de nombreuses caractéristiques qui le rendent adapté au traitement des substrats semi-conducteurs. Il est construit en matériaux et composants de haute qualité, qui assurent un contrôle de température précis et stable. Ses capacités étendues en font un excellent choix pour les applications de traitement des semi-conducteurs.