Occasion THERMCO 10000 #9311638 à vendre en France
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ID: 9311638
Taille de la plaquette: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6"
Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide
(4) Tubes
Loaders included
2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000 est un four de diffusion et un kit accessoire couramment utilisé dans les procédés de fabrication industrielle tels que la production d'alliages avec des couches de protection, le dopage des semi-conducteurs, ou la création de films ou de couches de tout matériau. L'équipement se compose d'un four à tubes, d'un contrôleur intégré, d'une boîte à gaz de procédé et d'un collecteur de gaz permettant un contrôle multiple des échantillons. Le four à tubes est construit avec une paroi d'alumine poreuse qui est utilisée pour transférer la chaleur et un four intérieur qui utilise des éléments chauffants disilicides en molybdène pour contrôler la température avec précision. Le four mesure 8 pouces de longueur avec une fenêtre en verre de quartz cristal pour surveiller le processus. La température du quartz est notée jusqu'à 3000 ° C Un bras de transfert monté porte est disponible et permet le chargement et le déchargement des échantillons. Le contrôleur du système comprend un écran tactile de programmation en 5 étapes avec un moniteur de réglage intégré, deux e-mètres de précision pour mesurer la température et le débit de gaz de traitement, et un port de communication intégré. Une unité d'alarme est intégrée au contrôleur pour alerter les opérateurs de toute anomalie de processus. La boîte à gaz intégrée utilise deux régulateurs et une alimentation en azote ou en ammoniac à travers le collecteur de distribution qui peut être programmé à plusieurs échantillons ou étapes de processus. Les numéros de pièce correspondant aux gaz corrects doivent être introduits dans le contrôleur avant que le processus puisse être lancé. Le bras de transfert fourni est conçu pour la manutention manuelle de cylindres en quartz ou en métal pour manipuler soigneusement les échantillons dans et hors du tube. Toutes les connexions à la machine sont déconnectées rapidement et peuvent être placées à l'intérieur du four pour réduire le besoin d'espace supplémentaire. L'outil 10000 complet, y compris les accessoires, est disponible pour les applications nécessitant des températures plus élevées, une précision et des temps de réponse rapides. Ce four de diffusion et kit d'accessoires est conçu pour effectuer de manière fiable pour de multiples cycles et étapes de processus sans avoir besoin d'un support technique compétent.
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