Occasion THERMCO 4500 #59757 à vendre en France

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ID: 59757
LPCVD horizontal diffusion furnaces, 5" Controller: Micro Vax 3100, Tube Computer: TMX 9000, Process: Nitride, HTO, Pyro, Anneal. Main Power: 460V/480V 60Hz, 3Phase de-installed 1989 vintage.
THERMCO 4500 est un four de diffusion et un accessoire conçu pour fournir un environnement fiable, à basse dépression et à haute température pour les applications de traitement des semi-conducteurs et des couches minces tout en offrant une sécurité accrue et une fiabilité à long terme. Ce four de diffusion avancé permet de configurer et de faire fonctionner en un seul système des modules de processus complexes et multiples. 4500 dispose d'une chambre thermique en acier inoxydable brevetée avec des éléments en quartz intégrés offrant un profil de température uniforme jusqu'à 1200 ° C. Le système offre des niveaux plus élevés de reproductibilité et une non-uniformité de température réduite par rapport aux fours à tubes en verre traditionnels. Il offre également une homogénéité de température exceptionnelle dans la gamme de température (1200 ° C +/-20 ° C). De plus, la conception de boîtier de tubes à double zone du THERMCO 4500 permet un accès direct à la zone de chaleur et de refroidissement en même temps. 4500 est conçu pour le traitement de plaquettes à couches minces et semi-conductrices avec une variété de composants en option, y compris creuset à quartz, bateau à quartz, et thermo-boucliers. Son contrôleur avancé offre un contrôle de précision des processus avec un retour de processus de régulation PID et un mode de température manuel ou automatique. La chambre entièrement isolée assure un rendement élevé et un faible gradient thermique qui rend le processus répétable et fiable. De plus, THERMCO 4500 comprend également des dispositifs de sécurité avancés tels qu'un interrupteur d'intrusion de pression, un interrupteur d'intrusion de température et un système intégré de détection de flamme. L'alimentation standard utilisée en 4500 est 220/480V, 3 phases 50/60Hz tandis que l'entrée de puissance maximale est 36KW. Les dimensions internes du four sont de 400mm * 400mm * 500mm (L * W * H) et la pression de gaz recommandée est de 5 Torr. Le contrôleur avancé est livré avec un écran LCD de 8,4 pouces avec un logiciel basé sur Windows 7 pour l'installation et le contrôle d'exploitation. Le contrôleur prend également en charge le contrôle de la température, la programmation, l'enregistrement des données et la détection des défauts. En ce qui concerne l'entretien, l'intervalle d'entretien suggéré pour THERMCO 4500 est de 12 mois ou 2000 heures d'exploitation. Il est conçu pour fournir un contrôle de la température et de la pression de précision et un processus de diffusion fiable dans une variété d'applications de traitement de matériaux spécialisés tels que la fabrication de cellules solaires, de puces semi-conductrices avancées et de couches minces. Ses caractéristiques de sécurité avancées et sa capacité à haute température en font l'un des systèmes de diffusion les plus fiables et polyvalents disponibles pour l'industrie des semi-conducteurs et des couches minces.
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