Occasion THERMCO 5100 #9134801 à vendre en France
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Vendu
ID: 9134801
Taille de la plaquette: 6"
Horizontal furnace, 6"
Process temperature: 1150–1200 Celsius
(4) Tubes
Voltage: 415V 3Ph 50 Hz
EMO: No
Config (see system layout): H
Model: 5200
Heating element:
Model: MRL-3S, HC-61
P/N No:
0440817770 R03 (Tube 1)
0440817770 R02 (Tube 2-3)
0440817770 R01 (Tube 4)
Tube size : 225 / 235 mm
Water cooled heat exchanger / Position: Yes / Top mounted
Thermocouples: B Type
(3) Controlled zones
Over temp monitoring: Over temp board
Load station (L/S)
Model: 5200
Boat loader type: D2
HLF Air supply: Low blow
Blower power: 220V 50Hz
Hepa filter type: ULPA class 1.2 µ
Hepa filter access: Rear
Scavenger boxes: 12" Square
Head assembly: Cryco
Cantilever type: Paddle (2" Square handled)
Exhaust position / Connection: Upward / 7" x 7" Sq
Source cabinet (S/C)
Model: 5100
Gas manifolds: Upward
Exhaust position / connection: Upward / 4" x 7"
External torch: Low flow / Air cooled
Source heater: MRL P/N: 4000799600
Bubbler: Schumacher STC DCE
Process gas: Regulated and filtered
CDA: Regulated
Regulator: Aptech
Gauge: Celerity
Filter: Mykrolis
Gas inlet location: Top (Bulkheads exhausted)
Valve: All nupro diaphragm
Computer console (C/C)
Controller: Tmx 1.8.60
SBC Compliant: Yes
Miscellaneous
Straight Cables: Yes (ALL)
Elevator: No
Gas MFC Range
N2 20 SLPM
O2 20 SLPM
H2 20 SLPM
O2Lo 2000 SCCM
N2C 500 SCCM (Tube 1)
- 1000 SCCM (Tube 2)
- 1000 SCCM (Tube 3)
- 1000 SCCM (Tube 4)
O2 500 SCCM.
THERMCO 5100 est un four de diffusion et accessoires associés spécialement conçus pour les applications de traitement des plaquettes de haute pureté. Il est conçu pour offrir une homogénéité thermique et des performances supérieures, créant un environnement idéal pour le traitement délicat des plaquettes. série 5100 dispose d'une grande capacité de charge dans un design efficace et compact. La série THERMCO 5100 dispose également d'un ascenseur automatique pour plaquettes, qui permet à l'utilisateur de charger et décharger facilement les plaquettes du four sans assistance manuelle. Les capacités de diffusion de la série 5100 permettent d'obtenir des caractéristiques de pellicules supérieures dans diverses applications, telles que l'oxydation à basse température et le nitrure, les procédés de diffusion pour l'emballage au niveau des plaquettes et le dépôt de couches épitaxiales. La conception efficace et compacte du four réduit les contraintes de fonctionnement, ce qui permet de réduire les cycles de reconditionnement et les délais de traitement. Son homogénéité thermique serrée de +/-2 degrés Celsius couplée à ses performances améliorées grâce à sa faible consommation électrique, permet de conserver à la fois l'énergie et les ressources, produisant moins de déchets. L'uniformité thermique est assurée par la conception unique de la zone chaude des parois latérales verticales du système, qui répartit uniformément la chaleur dans l'ensemble de la chambre et contribue à maintenir une température optimale dans l'ensemble de la plaquette. La série THERMCO 5100 comprend également une puissance variable avancée, permettant aux utilisateurs de changer de tension et de puissance, allant de 120V à 240V et de 100W à 2000W, selon les exigences du processus. Cette puissance variable maintient la précision et la stabilité thermique tout en offrant un rendement énergétique supplémentaire. La série 5100 est conçue pour la sécurité, avec un système de verrouillage électromécanique finement réglé, qui empêche l'entrée d'objets indésirables dans le four pendant le fonctionnement. Le système dispose également d'un interrupteur thermique isolé qui aide à maintenir des températures sûres pendant le fonctionnement et empêche tout excès de chaleur de rayonner vers l'extérieur. Enfin, la série THERMCO 5100 est conçue pour la commodité, avec une interface de programmation de cycle qui permet un traitement répétitif, ainsi que la possibilité d'enregistrer des recettes de cycle personnalisées pour une récupération facile et des applications futures. La série 5100 est un four de diffusion bien conçu, fiable et efficace et des accessoires associés qui convient à de nombreuses applications de traitement des plaquettes. Il offre une homogénéité thermique et des performances supérieures, assurant un traitement précis des plaquettes à une fraction du coût et du temps associés à d'autres méthodes. La série THERMCO 5100 garantit la qualité et la fiabilité de vos besoins de traitement des plaquettes.
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