Occasion TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623 à vendre en France

TKK TRL 300.300 est un four de diffusion à haut rendement équipé d'une variété d'accessoires pour faciliter le traitement des échantillons reproductibles et fiables. Le four est adapté à une large gamme de procédés de dépôt et de gravure en phase vapeur nécessaires à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le KOGYA TRL300.300 est un four multi-zones de type vertical conçu pour répondre aux exigences strictes de développement de processus. Il est équipé d'un chauffage à tube en quartz qui assure un chauffage maximal dans une répartition uniforme de la température. Le tube à quartz permet un réglage précis de la température sur toute la longueur de la zone de chauffage. La zone de chauffage est en outre divisée en trois régions. Chaque région peut être réglée à une température différente, offrant des conditions optimales pour un cycle de traitement spécifique. Le four dispose d'un ensemble turbo-pompe intégré et d'un équipement de pompage sous pression qui élimine le retour en courant, minimise les contraintes thermiques et peut facilement accueillir des plaquettes de différentes tailles. Le système de pompage est conçu pour minimiser les fluctuations de pression et maintenir un profil de température et de pression constant tout au long du cycle de traitement. Une unité de distribution de gaz inerte haute performance est montée sur le haut du four afin d'assurer une précision et une répétabilité constantes du processus. La machine de distribution de gaz fonctionne pour maintenir la pureté et le débit de gaz requis, et fournit un temps de séjour adéquat pour les composants du procédé. L'outil de distribution de gaz inerte est en outre équipé d'un régulateur de débit massique pour réguler le débit de gaz. Le régulateur de débit massique contrôle le débit du tube d'alimentation en gaz inerte afin de maintenir une température de processus constante et de limiter la contamination par le gaz inerte. Le four est également équipé d'un module de boíte à gaz qui fournit un gaz d'effacement d'azote à la zone de chauffage pour éviter l'oxydation du substrat. Le gaz d'effacement de l'azote est maintenu à une pression déterminée, assurant la sécurité et la fiabilité du fonctionnement. TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300.300 est un four de haute qualité, fiable et efficace qui est conçu pour répondre aux exigences de production les plus exigeantes. Ses divers accessoires et caractéristiques le rendent hautement adapté à un traitement de diffusion reproductible et fiable.