Occasion TP SOLAR MD 246 #9279732 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9279732
Style Vintage: 2018
Fast firing IR furnace
Specifications:
Wafer transfer height (mm): 955 ± 35
No of lanes and pitch (mm): 2 Lanes @250 pitch (centre to lane centre), single tunnel
Wafer sizes, mono and multi crystalline (mm): MO (156 x 156), M2 (156.75 x 156.75)
Easily modified for M4 (161.7 x 161.7mm) by belt change
Belt speed range (mm/s): 50 to 170 preferred, 50 to 145 acceptable
Belt speed accuracy (%): ± 0.75
Belt type: Edge contact, NiCr Steel mesh
Wafer repeatability on belt start position to end position (mm): ± 4
Wafer breakage rate (%): 0.05 (~2.8 broken wafers per hour @ 125k wafers per day)
Roller diameter, entry / Exit (mm): 152 / 49 (excluding belt)
Feed direction: Left to right
Length (metres): 9.4 ± 0.1
Height furnace (metres): < 1.7
Height VOC oxidiser (metres): < 1.95
Weight per section (Kgs): Drying (6 legs) < 2100, firing (6 legs) < 1425, cooling (6 legs) < 1250
Functional:
Up time (%): > 98.5
Wafer to wafer temperature uniformity under full load (C): ± 5 (S 250 mm lane pitch and 180 mm pitch within each lane
VOC Oxidiser efficiency (%): > 98%
Wafer exit temperature: < 55°C
Throughput (Mean wafers/hour): > 5600 @ 180 mm wafer pitch
Maximum temperature firing: 1000°C
Maximum temperature drying: 400°C
MTBA (Minutes): > 20
MTTA (Minutes): < 0.5
MTBF (Hours): > 7700
MTTR (Minutes): s30
Power supply: 50/60 Hz, 380-480 VAC, 3 Phase
2018 vintage.
TP SOLAR MD 246 est un four à diffusion de qualité conçu et fabriqué par LPE Equipment Incorporated. Avec un design de pointe, le four de diffusion dispose de la construction de la plus haute qualité pour minimiser la perte de chaleur, ainsi que la sécurité et la facilité d'utilisation. L'unité a une construction robuste et une taille polyvalente pour accueillir de grandes et petites plaquettes. Le four de diffusion est également livré avec une gamme d'accessoires qui améliorent encore les performances et l'efficacité. MD 246 utilise la technologie de diffusion sous vide à haute température pour déposer des couches précises de couches minces sur des plaquettes. Ceci permet à l'utilisateur de déposer sur des substrats une gamme quelconque de couches minces telles que des métaux, des oxydes, des nitrures, des fluorures et du poly-silicium de manière très reproductible. Cette technologie de diffusion à haute température assure le plus haut niveau de répétabilité, et permet un contrôle précis de la taille de la couche mince. Pour soutenir ces capacités, TP SOLAR MD 246 est livré avec une gamme d'accessoires. Les plus importants d'entre eux sont les bobines de refroidissement, qui sont spécifiquement conçus pour minimiser la perte de chaleur. Les bobines sont conçues pour permettre un refroidissement uniforme des plaquettes et assurer le plus haut niveau de répétabilité. Le four de diffusion est également muni d'un soufflet pour assurer un ajustement sûr, et d'un tuyau à vide pour permettre une étanchéité lorsqu'il est utilisé dans un environnement sous vide. De plus, l'unité est munie d'un thermocouple qui permet des mesures de température précises dans la chambre de diffusion. En plus des accessoires essentiels, l'unité est également livrée avec une gamme d'accessoires facultatifs. Il s'agit notamment des appareils de chauffage, des évaporateurs et des refroidisseurs, qui ajoutent chacun une plus grande polyvalence à la chambre de diffusion. En outre, l'unité est également livrée avec un logiciel qui permet le contrôle complet de l'unité à partir du PC, permettant à l'utilisateur de surveiller et de contrôler la température et d'autres variables pendant le processus de diffusion. Dans l'ensemble, MD 246 est un excellent four de diffusion qui offre une gamme de caractéristiques. Grâce à sa construction robuste, à sa technologie de diffusion sous vide à haute température et à sa gamme d'accessoires, l'unité assure la plus grande répétabilité et précision tout en assurant sécurité et facilité d'utilisation.
Il n'y a pas encore de critiques