Occasion ULVAC Rise 300 #293608977 à vendre en France
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ID: 293608977
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
System, 12"
Process: DIFF
2014 vintage.
ULVAC Rise 300 (Ultra Low Vacuum Access Chamber) est un four de diffusion avancé et des accessoires d'ULVAC Technologies, Inc. Il fournit un contrôle précis de la température, une qualité de vide précise et la capacité de traiter de grands substrats pour une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Rise 300 est équipé de quatre zones de réaction horizontales et d'une zone de réaction verticale dans un conteneur contrôlé par l'environnement pour une uniformité de température précise. La taille du conteneur est de 16 "x 18" x 24 "et peut supporter jusqu'à 2,5" x 4 "substrats. La température maximale des quatre zones réactionnelles est de 1600 ° C, et la température réelle la plus élevée de chaque zone est continuellement surveillée par des capteurs TC/RTD qui évitent des conditions dangereuses. Le couvercle en quartz lourd est conçu pour éliminer la perte de rayonnement et fournit un contrôle précis de la température. ULVAC Rise 300 fournit une qualité de vide précise jusqu'à 0,0033 Pa. Il est construit avec une pompe à huile adaptée et une pompe turbomoléculaire qui permet d'atteindre des niveaux de vide élevés considérablement plus rapidement que tout autre four de diffusion. La conception de la vanne d'évent évite la perte de vide et minimise la contamination en maintenant un niveau de vide élevé pendant le traitement. Rise 300 est équipé de la technologie ULVAC propriétaire feu et oublier. Cela permet à l'unité d'effectuer une série d'opérations avec une configuration et sans intervention manuelle pendant 72 heures au maximum. Il permet également un déroulement continu d'un seul processus ou jusqu'à six processus qui peuvent se répéter dans n'importe quel ordre ou combinaison, permettant une flexibilité pour répondre aux exigences du processus. ULVAC Rise 300 est livré avec un panneau de commande LCD convivial qui permet une programmation et une gestion faciles des différents processus à partir d'un endroit. Il dispose également d'un spectromètre d'émission optique intégré qui augmente le temps de mise des échantillons. En outre, Rise 300 est équipé de toutes les dernières caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité du processus et prolonger la durée de vie de l'unité. Il est également conçu pour être conforme à la réglementation environnementale, ce qui en fait un choix idéal pour toute installation de production de puces semi-conductrices.
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