Occasion ULVAC V10-100LC #9350452 à vendre en France
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ID: 9350452
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2009
Vertical furnace, 6"
Process: Sin / HTO
Main body
Control unit
Heater
JIG
Duct unit
Top cover
(6) Quartz tubes
UPS
2009 vintage.
ULVAC V10-100LC est un four de diffusion et un accessoire qui est utilisé dans une variété de procédés chimiques. Il fournit un environnement précis et à basse température pour la diffusion des matériaux dans un procédé connu sous le nom de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Ce type de four est utilisé principalement pour la culture de couches minces de matériau, utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs pour la production de composants actifs et passifs. V10-100LC dispose d'une conception unique qui utilise un environnement à basse dépression pour fournir une plage de température de -50 ° C à 800 ° C et un faible gradient thermique de 0,1 à 0,2 ° C/min. Le système comprend un contrôleur numérique avancé, capable de la température exacte, la puissance, et la surveillance et le contrôle de la pression. De plus, le four comprend deux thermocouples, un pour la mesure de température et un pour la mesure de pression. La conception unique d'ULVAC V10-100LC est dotée d'un tube en quartz à gaine multiple, permettant le dépôt dans un environnement à vide qui est physiquement isolé des autres parties du système. Ceci assure un contrôle uniforme de la température dans tout le four et un processus plus cohérent. De plus, le four utilise un élément chauffant à quartz, une isolation thermique à haut rendement et un couvercle en forme de cloche optimisé CAO/CAM pour assurer une excellente uniformité de température. Les autres caractéristiques de V10-100LC comprennent la capacité de refroidissement rapide, la haute émissivité, et la capacité d'effectuer l'arrêt automatique à la fin d'un cycle de processus. La petite empreinte, la légèreté et le design robuste du V10-100LC ULVAC en font un excellent choix pour les applications industrielles. En outre, le système a été conçu avec souplesse et peut être facilement adapté à une variété de processus de production différents. V10-100LC est une solution économique et polyvalente pour la diffusion à basse température d'une variété de matériaux. Son fonctionnement à basse température, son contrôle de haute précision et sa conception compacte en font un excellent choix pour la production de couches minces de matériau dans l'industrie des semi-conducteurs et une multitude d'autres applications.
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