Occasion VEECO LSA 100 #293687430 à vendre en France
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ID: 293687430
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100 est un équipement haut de gamme de four de diffusion conçu pour le traitement des semi-conducteurs de haute performance. Ce système de pointe combine technologie de pointe avec contrôle de précision pour fournir des résultats supérieurs dans une variété d'applications. La LSA 100 est dotée d'une construction robuste et d'une empreinte compacte, ce qui la rend adaptée aux environnements de recherche et de production. L'unité est équipée d'un tube en quartz de haute qualité qui assure une répartition uniforme de la température et un fonctionnement fiable. Le tube est chauffé par une série d'éléments chauffants, qui sont commandés par une machine sophistiquée de gestion de la température pour obtenir des profils thermiques précis. L'une des caractéristiques clés de VEECO LSA 100 est son outil avancé de livraison de gaz. L'actif est capable de fournir une large gamme de gaz de procédé avec une grande pureté et précision. Ceci assure que les réactions chimiques souhaitées se produisent à l'intérieur du tube, ce qui conduit à un dépôt de film cohérent et de qualité. La LSA 100 est également équipée d'un modèle innovant de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller facilement le processus de dépôt. L'équipement dispose d'une interface conviviale qui affiche des données en temps réel sur la température, la pression, les débits de gaz et d'autres paramètres critiques. Les utilisateurs peuvent facilement configurer des recettes personnalisées, surveiller les performances des processus et effectuer des ajustements en temps réel pour optimiser les résultats. En plus du four de diffusion principal, VEECO LSA 100 est livré avec une gamme d'accessoires qui améliorent sa fonctionnalité et sa polyvalence. Ces accessoires comprennent des régulateurs de débit de gaz, des pompes à vide, des régulateurs de débit massique et d'autres composants essentiels pour le traitement des semi-conducteurs. Le système est également compatible avec une variété de tailles et de matériaux de plaquettes, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. La LSA 100 est conçue pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs, où la précision et la fiabilité sont primordiales. L'unité est capable de réaliser une variété de processus, y compris l'oxydation, le recuit, le dopage, et plus encore. Que vous fassiez de la recherche ou fabriquiez des dispositifs semi-conducteurs avancés, VEECO LSA 100 fournit les performances et le contrôle dont vous avez besoin pour obtenir des résultats exceptionnels. Dans l'ensemble, la LSA 100 est une machine de diffusion de pointe qui offre des performances, une fiabilité et un contrôle exceptionnels. Avec ses fonctionnalités avancées, son interface conviviale et ses accessoires polyvalents, cet outil est le choix idéal pour les applications de traitement de semi-conducteurs. Que vous cherchiez à développer de nouvelles technologies ou à optimiser les processus existants, VEECO LSA 100 est une solution fiable qui offre des résultats supérieurs.
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