Occasion RUDOLPH FE III #9165606 à vendre en France

RUDOLPH FE III
Fabricant
RUDOLPH
Modèle
FE III
ID: 9165606
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Wafer thickness measurement system, 6" 1995 vintage.
RUDOLPH FE III est un instrument de métrologie optique automatisé, commandé par ordinateur, conçu pour mesurer l'épaisseur des couches minces, les indices de réfraction, ainsi que d'autres propriétés des couches minces. Cet ellipsomètre est un outil d'analyse non destructif construit à partir d'une source lumineuse laser HeNe, d'une combinaison de deux analyseurs rotatifs, ainsi que d'un détecteur. Le laser mesure le changement de phase et le déplacement d'énergie dans la lumière réfléchie d'un substrat optiquement plat et le fait passer à travers un compensateur et un analyseur rotatif où il est divisé en deux faisceaux d'amplitude égale. Cette combinaison d'éléments polarisants réfléchit et transmet la lumière dans la direction du détecteur créant un signal ellipsométrique mesurable. Le détecteur convertit alors le signal ellipsométrique en un signal de tension qui est enregistré et traité par le système d'acquisition de données qui peut signaler l'épaisseur du film, les indices de réfraction et d'autres propriétés du film mince. Le système d'acquisition de données dispose également d'un écran LCD pour visualiser les informations enregistrées et d'un port d'imprimante externe pour les résultats à imprimer ou à enregistrer dans un fichier. RUDOLPH FEIII est également livré avec une interface utilisateur pilotée par le logiciel qui permet la configuration, le fonctionnement et le contrôle automatiques de l'instrument ellipsomètre. Le logiciel peut être adapté pour modifier les angles de l'analyseur, l'intensité laser, les longueurs d'onde laser, les angles d'ellipticité, et beaucoup plus de paramètres pour obtenir l'information souhaitée. Les paramètres de mesure peuvent également être réglés pour obtenir une précision accrue. Le logiciel permet également à l'utilisateur d'obtenir de multiples lectures du substrat de l'échantillon et peut stocker, analyser et récupérer les données. De plus, l'étalonnage est efficace dans FE-III car les utilisateurs peuvent utiliser divers étalons internes ou utiliser des substances externes. La fiabilité, la flexibilité, la précision et la précision de FEIII en font un instrument idéal pour une variété d'applications de test de couches minces telles que les composants optiques, les semi-conducteurs, les cellules solaires, et plus encore. L'interface utilisateur intuitive, les fonctionnalités automatisées et la conception intégrée du système font de FE III un excellent choix pour un large éventail d'applications.
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