Occasion RUDOLPH FE IV #293830949 à vendre en France
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ID: 293830949
Style Vintage: 1995
Thickness measurement system
Process capability: 0.11µm, 0.13 µm, 0.15 µm, 0.18 µm, 0.25 µm, 0.35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
(3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
1995 vintage.
RUDOLPH FE IV est un polariseur elliptique, également appelé ellipsomètre, qui est un outil utilisé pour mesurer les propriétés optiques d'un matériau. RUDOLPH FE-IV est un ellipsomètre précis et fiable qui est utilisé pour diverses mesures, telles que l'épaisseur du film, les indices de réfraction, l'absorption et la réflectance, la rugosité de surface, les constantes diélectriques et la biréfringence. Il offre également une variété de capacités de diffusion, de spectroscopie et d'imagerie pour étendre davantage ses applications. Le dispositif est composé de trois composants principaux. Le premier est un monochromateur, qui sélectionne une bande étroite de lumière pour interagir avec l'échantillon. Cette source de lumière résolue spectralement est alors réfléchie hors de la surface de l'échantillon, et la lumière partiellement réfractée est ensuite passée à travers un prisme de Wollaston, qui divise le faisceau en deux composantes. Ils sont ensuite focalisés sur un détecteur, où l'intensité de chaque faisceau est enregistrée. A partir de ces données, l'ellipsomètre peut déterminer les propriétés optiques du matériau échantillon. FE IV est applicable à un large éventail de matériaux échantillons, des métaux et semi-conducteurs au verre et aux polymères. Il dispose d'un design modulaire qui permet une configuration rapide et facile, le rendant adapté à une utilisation en laboratoire ou pour des mesures sur le terrain. FE-IV est également équipé d'un balayage automatisé des échantillons, permettant des mesures plus rapides et plus efficaces. RUDOLPH FE IV est capable d'une large gamme de mesures, de la distribution des angles et la topographie à l'épaisseur, les propriétés du film et la diffusion. RUDOLPH FE-IV peut également être utilisé pour l'imagerie. À l'aide d'un microscope et d'un adaptateur optique, l'instrument peut être utilisé pour l'imagerie et l'analyse approfondies des surfaces, y compris la rugosité et les imperfections qui ne peuvent pas être vues à l'œil nu. Avec ses puissantes capacités d'imagerie, FE IV peut être utilisé pour obtenir une compréhension plus détaillée des propriétés optiques d'un matériau. La plateforme logicielle intuitive de FE-IV facilite sa configuration et son utilisation. Il peut être utilisé pour surveiller les expériences en cours, recueillir des données et interpréter les résultats. Le logiciel permet également aux utilisateurs de personnaliser les paramètres et les paramètres pour adapter leurs mesures à l'application en question. RUDOLPH FE IV est un ellipsomètre avancé qui est idéal pour une variété de mesures et d'applications. Grâce à sa puissante gamme de capacités optiques et d'imagerie, l'instrument peut aider à mesurer et à analyser rapidement et avec précision les propriétés optiques des matériaux.
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