Occasion RUDOLPH FE IV #9314879 à vendre en France
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ID: 9314879
Focus ellipsometer
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12 x 24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / Gray scale detection
Manual / Auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
With (3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / Notch finder
X, Y Centering: ±50 µm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
Uptime: >95%
MTBF: >1,500 hours.
RUDOLPH FE IV est un ellipsomètre utilisé dans le domaine de l'ellipsométrie spectroscopique, une technique optique non destructive utilisée pour mesurer les propriétés optiques, électriques et/ou structurelles d'un matériau. RUDOLPH FE-IV est un ellipsomètre à longueur d'onde unique à commande informatique à double faisceau qui effectue des mesures bidirectionnelles, ce qui signifie qu'il est capable de mesurer à la fois les angles lumineux incidents et réfléchis sur une surface. Il utilise deux faisceaux de lumière indépendants qui peuvent être combinés et modulés pour mesurer la matrice de Mueller complexe d'un échantillon, ce qui permet une détermination précise et rapide des constantes optiques d'un matériau. FE IV est conçu pour mesurer un large éventail de matériaux, y compris des matériaux organiques et inorganiques, des échantillons monocouches et multicouches, des couches minces, des surfaces réfléchissantes et transmissives, et diverses classes de molécules et de substrats. Il offre également la mesure simultanée de plusieurs échantillons sur une large gamme de tailles et d'épaisseurs d'échantillons, permettant une flexibilité maximale dans la caractérisation des échantillons. En fonctionnement, un faisceau incident est généré à partir d'un monochromateur et divisé en deux faisceaux par optique de polarisation. Les deux faisceaux sont dirigés vers l'échantillon et la lumière réfléchie est ensuite recueillie avec des filtres linéaires à polarisation variable. L'angle de polarisation est déterminé puis modulé par l'échantillon, d'où l'une des quatre mesures d'intensité. Ces données sont ensuite collectées et analysées à l'aide d'une série d'algorithmes mathématiques pour obtenir les constantes optiques, y compris le gain ou la perte optique, l'amplitude de la réflectivité, l'indice de réfraction, et le taux d'extinction. L'interface intuitive et les logiciels puissants de FE-IV permettent aux utilisateurs de tous les niveaux d'expertise de fonctionner facilement et peuvent être utilisés avec des systèmes mono-composants pour des configurations multifaisceaux plus avancées et la cartographie de la topographie de surface. L'échantillon est fixé dans une table de rotation de précision et peut être déplacé dans deux directions. La table est entièrement rotative, ce qui permet des mesures rapides et précises sur toute la plage d'angle pour la lumière incidente et la lumière de réflexion. RUDOLPH FE IV intègre une bibliothèque complète d'échantillons fonctionnels à des fins de comparaison, fournissant une méthode exacte et répétable pour mesurer les matériaux.
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