Occasion RUDOLPH FE VII #293758798 à vendre en France
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ID: 293758798
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Thickness measurement system, 8"
2002 vintage.
RUDOLPH FVII est un ellipsomètre bien connu qui est largement utilisé pour des mesures précises de caractérisation de surface. RUDOLPH FVII est un outil polyvalent qui permet de mesurer les couches minces, de cartographier les plaquettes et de diffuser des balayages d'angle avec des positions de faisceau variables, des mesures multifréquences, des mesures de polarisation et des balayages spectraux. De plus, il a la capacité d'effectuer de véritables mesures d'ellipsométrie multi-angles. RUDOLPH FVII est capable de recueillir des données jusqu'à 10nm dans le substrat avec une précision et une résolution exceptionnelles ainsi qu'une répétabilité exceptionnelle. Il comprend de nombreuses fonctionnalités pour la commodité, y compris une fonction d'extinction automatique, paramètres d'échantillonnage réglables, correction automatique de la dérive, capture d'image embarquée, et une variété d'options d'affichage à distance. Les composants de base de RUDOLPH FVII sont un spectromètre, un ellipsomètre, une unité de commande et l'unité d'entraînement. Le spectromètre est utilisé pour mesurer l'intensité de l'onde, la longueur d'onde et la polarisation sous différents angles. L'ellipsomètre mesure la polarisation de la lumière de la surface de l'échantillon et consiste en un modulateur de polarisation, miroir réfléchissant, polariseur et photodétecteur. L'unité de commande est utilisée pour la transmission des signaux de l'unité d'entraînement vers l'ellipsomètre et les composants du spectromètre. L'unité d'entraînement est un bras robotique qui est utilisé pour placer l'ellipsomètre dans différentes positions et dans différentes directions. Pour utiliser RUDOLPH FVII, l'échantillon désiré est placé sur les rails du système et le bras robotique est utilisé pour déplacer l'ellipsomètre en position. La fonction d'extinction automatique calcule alors automatiquement le point de départ de la mesure. En utilisant les paramètres réglables, l'utilisateur peut sélectionner les paramètres de mesure désirés, tels que le nombre d'angles, le nombre de fréquences et la plage spectrale. Une fois les réglages établis, l'unité d'entraînement peut déplacer l'ellipsomètre dans différentes directions en fonction des mesures. Les données collectées sont ensuite traitées dans l'unité de contrôle et peuvent être affichées dans de nombreux formats différents, y compris le balayage de fréquence, le taux d'extinction et l'affichage. RUDOLPH FVII est un excellent outil pour effectuer des mesures précises dans des applications telles que la mesure de l'épaisseur du film, la détermination de l'indice de réfraction, le calcul des constantes optiques et l'évaluation des propriétés du film. Sa fonction de mise à zéro automatique, ses paramètres réglables et sa variété de fonctions embarquées lui permettent de réaliser avec précision et efficacité quel que soit le type d'échantillon utilisé.
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