Occasion RUDOLPH FE VII #293830957 à vendre en France
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ID: 293830957
Style Vintage: 1999
Thickness measurement system
Process capability: 11 µm, 13 µm, 15 µm, 18 um, 25 µm, 35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robots
(3) cassettes: 100mm to 200mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 μm
Stage:
Accuracy: 7 μm over 200mm
Repeatability: ±1 µm
1996 vintage.
RUDOLPH FE VII est un ellipsomètre moderne conçu pour mesurer les propriétés optiques des couches minces et des empilements multicouches. Il s'agit d'un outil polyvalent pour la caractérisation des couches minces, le contrôle de la production, la recherche sur les cellules solaires et le contrôle de la qualité, ainsi que pour la R-D dans les dépôts de couches minces. RUDOLPH FEVII est équipé d'un système d'imagerie haute résolution comprenant une tête optique et un étage XY de haute précision. Ceci, combiné à une source lumineuse LED, permet de mesurer les propriétés des couches minces à n'importe quel angle d'incidence. Les propriétés des couches minces sont obtenues directement à partir des données recueillies par l'ellipsomètre. FE-VII utilise une seule et unique méthode de détection à double source pour mesurer l'intensité de la lumière réfléchie à la surface d'un échantillon simultanément à deux angles d'incidence différents. Avec cette méthode, on peut facilement déterminer l'indice de réfraction, l'épaisseur et les constantes optiques d'un échantillon. L'ellipsomètre offre également une large gamme d'applications telles que la caractérisation de couches minces et de grandes surfaces, l'analyse de cellules solaires et les mesures optiques au niveau des plaquettes. FEVII peut être utilisé pour une variété de matériaux à couches minces et va de la longueur d'onde visible à l'infrarouge lointain (NIR-NIR). L'épaisseur de la couche mince est de 0 à 5000nm, et la résolution est aussi faible que 0.1nm. Par ailleurs, on peut également effectuer des mesures pour une large gamme de coefficients optiques complexes de couches minces et d'empilements multicouches. En plus de sa conception innovante de détecteur double source unique, FE VII dispose d'un étage XY contrôlé par la température qui permet des mesures dépendantes de la température. Le montage optique compense les influences environnementales telles que les dérives thermiques et minimise l'influence du désalignement des échantillons. RUDOLPH FE-VII est l'outil parfait pour la recherche et le développement de procédés de production très précis ou pour le contrôle de la qualité et le diagnostic des appareils opto-électroniques à couches minces. C'est une solution conviviale et précise pour mesurer les constantes optiques et les propriétés des couches minces.
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