Occasion RUDOLPH S3000S #9122476 à vendre en France
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ID: 9122476
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Focused beam ellipsometer, 12"
Wavelength-stabilized diode laser
Magnification microscope
Visible reflecto meter
Windows operating system
SEMI-compliant E-95 software
RAID 1 mirror hard disk,
(1) GB RAM memory
3 GHz Dual Core MPU
Metrology module user interface
High resolution flat-panel display
Keyboard
Pointing device
Metrology module-end
EMO button
Automation features:
EFEM with high-speed Yaskawa dual-arm robot
Ultra-clean HEPA air filtering mini environment
Amber interior lighting in the EFEM
EMO to the right and left of the loadports
SEMI F47 compliant power-sag protection
Metrology optics and hardware options:
Wavelength stabilized 923nm DFB laser
Temperature controlled optics
Software Options:
Cognex patMax pattern recognition
FabConnect software: HSMS, GEM with trace data
Statistical data analysis, graphing and display software
Xport Automation platform options:
Ionizer kit for dual-loadport EFEM
Signal Tower (5-color: R, Y, G, B, Clear)
AdvanTag 9100 Carrier ID reader
E84 Controller required for TDK + Hokuyo
2010 vintage.
RUDOLPH S3000S est un ellipsomètre polyvalent et convivial. Les ellipsomètres mesurent le changement d'état de polarisation d'un faisceau lumineux après réflexion ou transmission à partir d'une surface d'échantillon. Ces informations peuvent être utilisées pour mesurer l'épaisseur de divers films minces ainsi que pour déterminer l'indice de réfraction, le coefficient d'extinction et la morphologie de surface d'un échantillon. RUDOLPH S 3000 S est un ellipsomètre optique, qui fonctionne en éclairant la surface de l'échantillon avec une très faible intensité, une lumière polarisée monochromatique, et en mesurant le changement de polarisation pendant que la lumière est réfléchie en arrière. Cette lumière est divisée en quatre canaux avant et après interaction avec l'échantillon. En comparant les prédictions théoriques simulées avec l'état de polarisation mesuré, les propriétés du film peuvent être déterminées avec précision. S3000S comprend également le système breveté Fast Kinetics Utility, qui permet des mesures multi-angles sur des systèmes de film à changement rapide avec une seule configuration de mesure. S 3000 S est capable de mesurer simultanément plusieurs paramètres du film, y compris l'épaisseur, l'indice de réfraction, l'anisotropie optique, le coefficient d'absorption et la morphologie de surface de l'échantillon. Il peut mesurer avec confiance des films aussi minces que quelques angströms et une large gamme de tailles d'échantillons. RUDOLPH S3000S peut accueillir des échantillons avec plusieurs couches de matériaux optiques diffractifs et réfractifs pour obtenir des informations sur l'ensemble de la structure. RUDOLPH S 3000 S utilise un polariseur rotatif à angle variable et le module de contrôle et d'analyse PD-SQuaRe, permettant un réglage indépendant de l'angle et de la polarisation. S3000S est également équipé de dérive automatisée et de correction de fond pour une collecte de données plus rapide et plus fiable et une plus grande précision des données. En outre, le S 3000 S supporte à la fois la réflexion et l'ellipsométrie de transmission, permettant une plus large gamme d'applications par rapport à d'autres systèmes comparables. RUDOLPH S3000S est un outil puissant mais convivial conçu pour mesurer et analyser une grande variété d'échantillons de couches minces. Il est capable de fournir la plus grande précision des données avec son optique exclusive, son polariseur rotatif à angle variable et son module intégré de contrôle et d'analyse PD-SQuaRe. Indépendamment de la taille, de l'épaisseur ou du type de surface de l'échantillon, RUDOLPH S 3000 S permet de mesurer simultanément divers paramètres du film.
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