Occasion ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602 à vendre en France

ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000
ID: 9299602
Taille de la plaquette: 6"
System, 6".
SYSTÈMES MODULAIRES AVANCÉS AMS 2000 est un équipement évolutif, modulaire de graveur et asher conçu pour offrir une flexibilité et des performances maximales du système dans un large éventail d'applications. L'unité dispose d'un support modulaire de haute précision pour la gravure, le cendrage, l'exposition au film et d'autres applications. La conception modulaire de l'AMS 2000 offre une machine optimisée, efficace et configurable et permet aux utilisateurs d'étendre facilement les capacités de l'outil au besoin. L'actif comprend une double voie standard, un graveur multimode et une unité de base modulaire, ainsi qu'une chambre d'expansion facultative pour augmenter la capacité du modèle jusqu'à 408 plaquettes. Le module graveur haute précision offre une gravure précise des films minces avec une haute précision et une faible défectivité, permettant aux utilisateurs d'obtenir et de maintenir la répétabilité et la précision. Le module etcher dispose d'une maintenance prédictive et préventive pour minimiser les interruptions de processus et prolonger la durée de vie des composants critiques. Le module asher modulaire avancé offre une précision et une répétabilité supérieures, et utilise la technologie la plus récente pour graver et nettoyer les plaquettes post-fabrication. La chambre est équipée d'une double buse avec des tubes d'injection de gaz pour la gravure précise et le nettoyage des zones difficiles d'accès des plaquettes. L'asher fournit une fonctionnalité de diagnostic du processus, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'analyser le processus de gravure pour s'assurer que les paramètres et les exigences du processus sont respectés. Le module optionnel d'exposition des films utilise la technologie des sources lumineuses pour exposer avec précision et précision les films positifs, négatifs et critiques de différentes tailles. Le module d'exposition est conçu pour augmenter le débit tout en assurant la précision et la répétabilité. La taille maximale de la plaquette supportée par ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 est de 8 pouces, et l'équipement d'interface et de contrôle utilise le système d'exploitation Windows pour un fonctionnement intuitif et convivial. L'unité utilise le traitement à double voie pour maximiser le débit et réduire les temps de cycle, assurant une efficacité et une qualité de production maximales. Avec sa conception modulaire et ses fonctionnalités avancées, AMS 2000 etcher/asher est une solution idéale pour une variété d'applications de fabrication de semi-conducteurs.
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