Occasion AGS LC-RIEL-HT #9182875 à vendre en France
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Vendu
ID: 9182875
Taille de la plaquette: 8"
Reactive ion etcher, 8"
Assembly:
Console
Chamber
Electrode, RIE10 with He BSC
Vacuum, HT / CVG / TP4
Pressure control
Plasma source, RF6
Power
Interlocks
Harness with serial IO
Facilities
Controller
IG
TCUX, 10-50C
Toxic gas pod
(4) 3x100sccm, 1x20sccm, MFC (Standard)
(2) Toxics, MFC
Loadlock
Lifter
Wafer clamp
Wall heater
Platen / Graphite
Lecture bottle stick:
(2) HBr, BCl3.
AGS LC-RIEL-HT est un graveur/cendrier de précision spécialement conçu pour des applications de production à haut débit et à faible coût. Il est conçu pour enlever rapidement et efficacement les matériaux d'une grande variété de substrats, notamment les métaux, les plastiques, le verre, la céramique, etc. LC-RIEL-HT est une solution à faible coût et à productivité élevée. L'AGS LC-RIEL-HT a une puissance maximale de 250W d'énergie plasmatique pulsée pour un contrôle précis, ce qui le rend idéal pour les applications nécessitant une grande précision et une vitesse de gravure élevée. La conception de la chambre à plasma assure une gravure à vitesse uniforme pour des résultats cohérents et réduit les risques de gravure ou de brûlage inégaux du substrat. La conception à faible entretien de cet équipement permet également d'économiser du temps et de l'argent en entretien. LC-RIEL-HT est très polyvalent et peut être utilisé avec un large éventail de matériaux et de procédés, y compris la gravure ionique réactive (RIE), la gravure ionique réactive profonde (DRIE), la gravure humide, la gravure en phase vapeur (VPE), le polissage mécanique chimique (CMP) et le broyage par faisceau d'ions (IBM). Il est également compatible avec une variété de solutions de gravure chimique pour différents matériaux. Le système dispose également de dispositifs de sécurité avancés, tels que la surchauffe et la protection contre les pannes d'électricité, pour assurer un fonctionnement sûr. La chambre est conçue pour maintenir de basses pressions de fonctionnement, ainsi que fournir d'excellentes performances de vide et de contrôle de la contamination. L'unité de gravure dispose également d'un interrupteur de sécurité externe pour protéger l'opérateur, ainsi que d'un avertissement de réaction exothermique. AGS LC-RIEL-HT dispose d'un panneau de commande puissant et facile à utiliser. Cette machine durable comprend un panneau tactile avec des options de menu faciles à comprendre et des paramètres pour une gravure rapide et précise. Il supporte une variété de tailles de substrat, permettant une flexibilité dans le chargement et le déchargement. En outre, l'outil est conçu avec une chambre amovible pour un nettoyage et un entretien faciles. LC-RIEL-HT est une solution de gravure fiable et économique pour une large gamme d'applications de production nécessitant une gravure de vitesse précise. Il offre une gravure rapide et précise, un débit élevé et un fonctionnement peu coûteux. Il est facile à utiliser et à entretenir, et est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées pour assurer la sécurité opérationnelle.
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