Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E I-Speeder #165552 à vendre en France
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Vendu
ID: 165552
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Silicon etcher, 6"
Wafer size: 6", converted from 4"
Semco ESC
Genmark 4 robot with wafer aligner
4” single wafer vacuum loadlock assembly
Chuck table with controlled-temperature from –30°C~ +60°C
Substrate holder: 4” wafer electrostatic clamping system with center kit
Low-pressure plasma source with laser view port adaptor on top of the source
System control and monitoring with PLC & PC, Windows NT & Alcatel GUI
UPS power for PLC control
Operates the machine in manual, semi-automatic, or fully-automatic modes
Chamber primary pump: ADP122
Cold trap with heated pump line
Maglev turbomolecular pump: ATH 1300M
DN 200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + By-pass + line with controller
Loadlock dry pump ACP28
Loadlock molecular pump MDP 5011
Lauda Chiller RK8CP
Power transformer: input AC200-220V, output AC400V
Baratron 100Pa
Source power supply: 2kW RF with RF20S generator controller
Bias power supply: 500W with RF5S generator controller
Robot loading version
User’s manual on CD ROM and PC HD
Electrical schematics on cleanroom paper
Telediagnostic (modem+software)
Process Module:
Room (Bosch) temperature process. (including Bosch patent)
Substrate holder electrostatic clamping system
Wafer centering kit 100mm
Source: 2kW RF
Bias: 0.5kW RF
Heated process chamber walls
Laser view port adapter on top of the source
Reactor Pumping:
Alcatel ADP 122
Maglev turbomolecular pump ATH 1300M
DN200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + by-pass
Completed pumping line is heated, while a coldtrap is installed before the dry pump
Gas lines:
4 UNIT mfc’s, type 1 gas lines, installed in the main frame of the A601E
SF6-500 sccm, C4F8 – 200400 sccm, O2 –20 sccm, O2-200 sccm
oad/Unload Module:
Robot loading
Optical fiber for wafer localization
Ferrofluidics feedthrough on transfer arm
Molecular drag pump MDP 5011
Mechanical pump needed
Control Module:
PLC & PC
Windows NT & Alcatel GUI
Telediagnostic(modem & software)
Substrate holder:
Electrostatic clamping system version
Additional spare electrostatic ceramic (4”): yes, but used
Pumping station:
ADP122 and ACP28 dry pumps pack for process chamber and loadlock
Gas lines:
Gas cabinet for 6 gas lines
Different UNIT MFC’s flow range/standard
Transfer module and loadlock
GENMARK cassette loading robot
Flat finder/aligner
Documentation:
Hard copy of the user manual
Documentation set on cleanroom paper
CD-ROM with User manual
Normal Paper: manuals of all sub-units
Cleanroom Paper: Electrical diagrams
Additional Parts:
Cryo kit for Bosch and Cryo process
Electrostatic Chuck 6” wafer size kit for manual or robot loading version
Tool has been mainly used for R&D purposes
Modifications:
RK8CP chiller
Upgrade of Maglev ATH 1300 to ATH 1600 turbomolecular pump
Upgrade of ACP20 to ACP28 dry pump
51 foot pump cable
Light tower
Upgrade of 2 kW RFPP generator to ENI 3 kW RF generator
UNIT MFC: SF6 / 1000 sccm UFC 180
SECS II protocol
Software upgrade (PC and pLC)
2001 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E I-Speeder est un graveur et asher haute performance conçu pour des applications semi-conductrices et microélectroniques. L'équipement est conçu pour offrir des performances supérieures et un débit optimal avec des caractéristiques jusqu'à 2,5 µm et des processus qui comprennent la gravure, l'adhérence, le nettoyage et l'enlèvement. L'I-Speeder est équipé d'un système à double faisceau fiable, offrant précision de pointage et uniformité sur l'ensemble de la pièce. Sa résistivité et sa flexibilité pour s'adapter à de multiples processus en font un outil polyvalent pour la plupart des exigences des semi-conducteurs. L'I-Speeder utilise une unité spécialisée de technologies de vide avancées pour atteindre des taux d'Etch supérieurs, des taux de particules plus faibles et une contamination d'oxyde réduite. L'unité dispose d'un contrôleur à double cycle, permettant le réglage précis des paramètres du processus. La machine combinée Plasmer-Cone unique et les bobines de champ en céramique brevetées aident à protéger la pièce tout en assurant des résultats de gravure supérieurs. L'I-Speeder est équipé d'un total de huit processus automatisés préinstallés, fournissant des résultats cohérents et réduisant la formation et le temps d'installation des opérateurs. Cette unité puissante est conçue pour permettre l'installation de matériel et de logiciels tiers sans avoir besoin de matériel supplémentaire. De plus, il enregistre automatiquement les paramètres détaillés du processus, ce qui facilite la trace du processus de gravure. L'I-Speeder est une solution complète de graveur et asher avec un large éventail de fonctionnalités et d'avantages. Il offre un processus puissant, efficace, et fiable, ce qui se traduit par une meilleure formabilité de la microfissure et un contrôle supérieur. L'outil polyvalent est idéal pour la plupart des exigences de gravure de semi-conducteurs et offre des performances supérieures avec des tailles de fonctionnalités inférieures à 2,5 μ m et des temps de processus plus rapides. En outre, l'unité est soutenue à la fois par ADIXEN et ALCATEL, fournissant un service client exceptionnel et un soutien technique.
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