Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #293743831 à vendre en France
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ID: 293743831
Taille de la plaquette: 4"
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE), parts system, 4"
Pumps
(2) Load lock turbo pumps
2063 Pump
C2 Plus oil filter
Filling tube for liquid nitrogen
Gases: SF6, CF4F8, O2, CHF3, AR
Cooling type: Liquid nitrogen
Plasma and RF Generator
Temperature range: LN2.
ADIXEN Vacuum Technology ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E Etcher/Asher est un équipement sous vide qui utilise des gaz réactifs pour graver ou graver des wafers. Le système est conçu pour permettre des recettes de gravure/cendres difficiles qui nécessitent des paramètres de processus précis, en raison de sa technologie avancée de contrôle de processus PID numérique. L'unité dispose d'une chambre de procédé avec une plaque supérieure en acier inoxydable et une configuration à base de soufflet. Les composants de la chambre sont équipés d'une machine de contrôle de température et de pression avancée, permettant des lots de haute précision. Il dispose également d'une fonction de cycle automatique de processus qui fournit des résultats reproductibles et reproductibles de qualité à haut débit. L'estcher/asher est un outil avancé qui peut fonctionner avec divers gaz, notamment le chlore dissous, le fluor et le tétra-fluorure de silicium, ainsi que leurs dérivés fluor et chlore. Les gaz sont d'abord introduits dans la chambre sans coller les atomes à une surface quelconque, puis chauffés à une température et une pression données pendant leur séjour dans la chambre. ADIXEN 601E utilise un contrôleur ZDC avec programmation par étapes de cycle à la demande, mode impulsionnel et mode multi-cycle, lui permettant de s'adapter à tout processus de gravure/cendres. Il dispose également d'un atout précis de contrôle de la pression pour le gaz de procédé, ainsi que de la rétroaction et de la surveillance des paramètres de processus avancés. Cela garantit que tous les processus sont cohérents et précis. ALCATEL 601E etcher/asher dispose d'une large gamme de caractéristiques qui se combinent pour en faire un appareil incroyablement fiable pour graver et cacher les plaquettes. Il fait partie de la ligne ALCATEL Vacuum Technology de systèmes de gravure et d'ashing, ce qui en fait un excellent choix pour les laboratoires de semi-conducteurs et les installations de production.
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