Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9260027 à vendre en France

ID: 9260027
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E est un graveur/asher conçu pour des applications nécessitant un débit, une répétabilité et une précision élevés. C'est un équipement intégré avec une chambre à vide, chambre de chauffage, panneau de commande, pompes et capteurs. Le graveur/asher est fiable et robuste, ce qui le rend idéal pour les applications industrielles. ADIXEN 601E dispose d'une chambre à vide d'une capacité de 0,25 à 5 litres. Il est équipé d'un système automatisé de protection d'auto-réglage (STP) qui surveille tous les points de consigne de pression et les conditions de traitement lorsque le graveur/asher se déclenche. Cela garantit la répétabilité et la précision du processus. La chambre est chauffée à des températures allant jusqu'à 1000 ° C et les parois sont revêtues de polytétrafluoroéthylène dur pour la protection contre les substances agressives. ALCATEL 601E est équipé d'un panneau de commande qui permet à l'utilisateur de programmer le temps, la température, la pression, le débit, la composition du mélange et d'autres paramètres. Ceci permet d'ajuster précisément la température de la chambre en fonction de l'application individuelle. Le panneau de contrôle permet également à l'utilisateur de surveiller et de contrôler à distance l'etcher/asher depuis n'importe quel PC ou appareil avec une interface compatible. L'etcher/asher contient également un certain nombre de pompes, dont une pompe turbo moléculaire, une pompe à liquide et une pompe à anneau liquide. Ces pompes assurent l'écoulement des différents gaz de procédé à la vitesse et à la pression souhaitées. Les pompes ont un haut niveau de fiabilité et fournissent des performances fiables pour de longues périodes. Le graveur/asher est équipé d'un ensemble de capteurs, y compris ceux pour la pression, la température, le vide, la composition du gaz et le courant. Ces capteurs permettent au graveur/asher de surveiller et de contrôler avec précision les conditions de processus dans la chambre. Les capteurs peuvent également être utilisés pour arrêter l'appareil si des conditions anormales se produisent. PFEIFFER 601E est un graveur/asher fiable et robuste qui est idéal pour les applications industrielles nécessitant des conditions de processus précises et une répétabilité. Sa machine intégrée, son contrôle automatisé des outils et sa vaste gamme de capteurs garantissent des résultats précis et reproductibles.
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