Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9232742 à vendre en France
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ID: 9232742
Taille de la plaquette: 6"
Deep silicon etcher, 6"
Cassette vacuum load lock
Low pressure plasma source
Temperature controlled cryo chuck
Substrate holder: Θ150 mm
(2) Programmable Logic Controllers (PLC)
(2) Chamber etch systems
With handler
Process module:
Transfer chamber
Automated robotic arm
Computer interface system
(5) Sub assemblies:
Process chamber
Substrate holder
Plasma source
Power supplies
Pressure control
Transfer module:
Transfer chamber
Load lock chamber
Pressure control
Automatic loading and unloading substrates
With robotic arm, load lock and pumping package
System control module:
Real time process control and recipe management
RF Power control
Automatic substrate bias voltage control
Pump and valve control
Process gas flow control
Automatic batch processing
Manual control of all I/O signal.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E Etcher/Asher est un outil industriel de pointe utilisé pour créer un motif de haute précision à la surface d'une grande variété de matériaux. Cet outil est capable de produire des résultats à haute résolution à très grande vitesse. Ses multiples configurations permettent à la fois la gravure humide et sèche, ainsi que la topographie, l'isotope et la gravure photorésiste. Les principales caractéristiques d'ADIXEN 602E sont son équipement numérique de programmation et de contrôle haute résolution, permettant un ajustement facile des motifs, et son haut degré de flexibilité, permettant différents processus de gravure et différentes applications. Le système numérique informatisé comprend également un mécanisme automatique d'étalonnage et d'auto-correction, assurant des résultats cohérents dans le temps. En ce qui concerne l'efficacité, ALCATEL 602E est conçu pour fonctionner avec une précision allant jusqu'à 0,2 microns avec un chanfrein de 45 degrés. Cette haute précision permet aux détails des conceptions complexes d'être précis et réaliste. La puissance de l'unité garantit également que le processus de gravure est plus rapide sans sacrifier la précision, produisant une grande variété de motifs en peu de temps. PFEIFFER 602E offre également de multiples caractéristiques de sécurité et d'environnement. La machine est protégée contre les éclaboussures d'eau, en maintenant l'intérieur de l'outil sec. Il est également conçu pour minimiser les émissions de poussières et le bruit, permettant son utilisation même dans un cadre industriel. En outre, l'actif est livré avec une interface et un logiciel convivial, permettant un fonctionnement facile du modèle. 602E Etcher/Asher est un outil idéal pour le marquage de pièces de précision, la topographie, la caractérisation, la gravure/marquage et la lithographie. En raison de ses caractéristiques, il peut fournir des résultats précis et à haute résolution, quel que soit le défi auquel il est confronté. Hautement configurable, l'équipement offre une flexibilité en termes de taille des motifs, de type de matériaux sur lesquels on travaille, de complexité des motifs, et plus encore. Toutes ces fonctionnalités travaillent ensemble pour donner à l'utilisateur un processus optimisé, très efficace, assurant des résultats rapides et précis.
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