Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9251507 à vendre en France
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ID: 9251507
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2004
Dry etcher, 6"
2004 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE est un équipement de traitement graveur/asher conçu pour effectuer un traitement rapide de haute précision tant pour la recherche-développement que pour la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur de plasma cryogénique constitué d'une grande chambre à vide, d'une source de plasma, d'un mandrin de plaquette anodisé et d'un porte-substrat. ADIXEN AMS 200 SE est conçu pour traiter les applications semi-conductrices standards et spéciales avec une grande précision et fiabilité. ALCATEL AMS 200 SE est équipé d'un mandrin de plaquette capable d'atteindre des températures aussi basses que -70 ° C Ceci garantit que le traitement plasmatique est effectué à des températures précises et homogènes. Le mandrin est également conçu pour réduire le coût de possession en réduisant le besoin de réticules, prolongeant ainsi la durée de vie du mandrin. Le porte-substrat est équipé de chargeurs automatisés pour permettre un chargement rapide et facile du substrat. Le PFEIFFER AMS 200 SE est également équipé d'un contrôleur ACC multi-zone avancé et d'une jauge ionique pour un contrôle précis des températures et des niveaux de puissance du substrat. AMS 200 SE fonctionne dans un processus de gravure cryogénique pour minimiser la génération de contamination thermique lors de la gravure. Il est également équipé d'un contrôle avancé des sources de plasma pour s'assurer que le processus de gravure est mené avec un maximum d'efficacité et de précision. La haute précision est obtenue grâce à l'utilisation d'un masque de gravure de précision, d'un substrat de plaquette en nitrure épais et de technologies avancées de capteurs intelligents. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE offre une grande flexibilité et polyvalence car il est capable de traiter divers types et matériaux de substrat, englobant la gamme des plaquettes pulvérisées aux substrats non oxydes. Le processus de gravure peut également être optimisé pour une variété de contrôle de profil de gravure avec ses fonctions de balayage de faisceau à six axes, de programmation et de montage de courbe. Il présente également un cycle de temps de gravure faible pour une gravure uniforme et répétable des plaquettes. Enfin, l'ADIXEN AMS 200 SE offre un haut niveau de sécurité avec ses dispositifs de sécurité avancés, tels qu'un filtre EMI, un contrôleur de température, un contrôleur numérique et un système de sécurité multi-zones. Ces dispositifs de sécurité améliorent la fiabilité et la précision du processus, afin de s'assurer que la haute qualité du produit final est atteinte avec un niveau de risque minimal. ALCATEL AMS 200 SE est un excellent choix pour ceux qui recherchent un équipement de procédé de graveur/asher fiable, précis et sûr.
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